Háromcélú magnetronos porlasztásos bevonóberendezés hordozók és ostyák bevonására
1. A vékonyrétegű akkumulátor előkészítő rendszer kesztyűtartóval van felszerelve, és egy megfelelő rádiófrekvenciás tápegység csatlakoztatható bármely célfejhez egy átalakító kapcsolón keresztül, amelyet különféle célanyagok porlasztásos bevonására használnak (a célpisztoly bármikor cserélhető az ügyfél igényei szerint).
2. A vékonyrétegű akkumulátor-előkészítő rendszer kesztyűtartóval különféle vékonyrétegek előkészítésére alkalmas, és széles körben használják.
3. A vékonyrétegű akkumulátor-előkészítő rendszer kesztyűtartóval kis méretű és nagyon könnyen kezelhető.
- Shenyang Kejing
- Senjang, Kína
- 10 munkanap
- 50 szett
- információ
Kompakt plazma porlasztásos bevonatoló berendezés bemutatása:
A VGB-600-3HD vékonyrétegű akkumulátor-előkészítő rendszer kesztyűtartóban használható kísérleti műveletekhez, és egyrétegű vagy többrétegű ferroelektromos vékonyrétegek, vezető vékonyrétegek, ötvözet vékonyrétegek, félvezető vékonyrétegek, kerámia vékonyrétegek, dielektromos vékonyrétegek, optikai vékonyrétegek, oxid vékonyrétegek, kemény vékonyrétegek, politetrafluoretilén vékonyrétegek stb. előállítására szolgál. A kompakt plazma porlasztó bevonatoló három célpisztollyal van felszerelve, és egy megfelelő RF tápegység csatlakoztatható bármely célfejhez egy átalakító kapcsolón keresztül, amelyet különféle célanyagok porlasztásos bevonására használnak. A hasonló berendezésekhez képest a kompakt plazma porlasztó bevonatoló nemcsak széles körben elterjedt, hanem a kis méret és a könnyű kezelhetőség előnyeivel is rendelkezik. Ideális berendezés anyagfilmek laboratóriumi előállításához. A kompakt plazma porlasztó bevonatoló különösen alkalmas vékonyrétegű akkumulátorok, szilárd elektrolitok és OLED-ek laboratóriumi kutatásához. A hagyományos magnetronos porlasztással összehasonlítva lítium céltárgyak és lítium alapú anyagcéltárgyak bevonási kísérleteihez is használható. Ideális berendezés laboratóriumi bevonási kísérletekhez az új energiaiparban.
A háromcélú RF magnetron porlasztásos bevonó előnyei:
1. Három porlasztási célponttal felszerelve, egy RF tápegység átkapcsolóval bármelyik célpontfejre kapcsolható, lehetővé téve a különféle célanyagok porlasztásos lerakódását (a célpisztolyok a felhasználói igényeknek megfelelően cserélhetők).
2. Többféle vékonyréteg előállítására képes, széles alkalmazási körrel.
3. Kompakt méret és egyszerű kezelhetőség.
4. A teljes rendszer moduláris felépítésű – a vákuumkamra, a vákuumszivattyú-egység és a vezérlő tápegység egymástól függetlenül elkülönül, így rugalmasan konfigurálható a felhasználói igények szerint.
5. A felhasználók a tényleges igények alapján választhatják ki a tápegység konfigurációját – vagy egy tápegység vezérel több célpontot, vagy több tápegység, amelyek egymástól függetlenül vezérlik az egyes célpontokat (opcionális).
6. A rendszer kesztyűtartóban működtethető különféle oxidációra érzékeny célanyagok leválasztásához.
A kompakt plazma porlasztásos bevonatoló műszaki paraméterei:
| Termék neve | VGB-600-3HD kompakt plazma porlasztásos bevonatoló |
| Termékmodell | VGB-600-3HD |
| Fő paraméterek | Háromcélú magnetron porlasztó rész: 1. Tápfeszültség: 220V 50Hz. 2. Teljes teljesítmény: 2,5 kW. 3. Végső vákuum: < E-6mbar (cégünk mechanikus szivattyúberendezésével használva elérheti az E-3mbar értéket). 4. Üzemi hőmérséklet: RT-500 ℃, pontosság ±1 ℃ (a hőmérséklet a tényleges igényeknek megfelelően növelhető). 5. Célfegyverek száma: 3. 6. Célfegyver hűtési módja: vízhűtés. 7. Céltárgy mérete: Ø2″, vastagság 0,1–5 mm (a vastagság a céltárgy anyagától függően változhat). 8. Porlasztási teljesítmény: 300 W (RF) / 500 W (DC). 9. Mintatartó: Ø140 mm. 10. Mintahordozó sebessége: 1-20 fordulat/perc között állítható. 11. Védőgáz: inert gáz, például Ar és N2. 12. Bemeneti gázút: A tömegárammérő 2 bemeneti utat vezérel, az egyik áramlás 100 SCCM, a másik áramlás 200 SCCM. |
Gszeretetdoboz rész: 1. Tápellátás: egyfázisú AC110V-220V 50Hz/60Hz. 2. Héj anyaga: 304 rozsdamentes acél. 3. Kesztyűtartó kamra: 1220 mm × 760 mm × 900 mm. 4. Előfokozatú kamra: 2 előfokozatú kamra van, a nagy előfokozatú kamra Ø360 mm × 600 mm, a kis előfokozatú kamra pedig Ø150 mm × 300 mm. 5. Kamra környezete: víztartalom <1 ppm (20 ℃, 1 atm), oxigéntartalom <1 ppm (20 ℃, 1 atm). 6. Munkagáz: inert gáz, például N2, Ar, Ő. 7. Vezérlőgáz: sűrített levegő vagy inert gáz. 8. Redukálógáz: munkagáz és H keveréke2(ha a tisztítórendszer csak a víz eltávolítását végzi, a redukálógáz megegyezik a munkagázzal). 9. Gáztisztító rendszer: német BASF deoxidáló anyagok, amerikai UOP vízelnyelő anyagok, a tisztítórendszer regenerációs folyamatának automatikus vezérlése, automatikus dehidratálási és deoxidációs funkciók, amelyek hosszú ideig fenntartják a gáz tisztaságát <1ppm víz- és <1ppm oxigéntartalom mellett. 10. Nyomásszabályozó rendszer: Az üreg légnyomását a PLC érintőképernyője automatikusan szabályozhatja ±1Pa szabályozási pontossággal, és manuálisan is vezérelhető a lábkapcsolóval. 11. Szűrőrendszer: A szűrők a bemeneti és kimeneti végeken vannak felszerelve, 0,3 μm szűrési pontossággal. 12. Vezérlőrendszer: SIEMENS színes érintőképernyő (6 hüvelyk), PLC vezérlőrendszer, kínai és angol kétnyelvű kapcsolható; A vízszonda az amerikai GE márkát alkalmazza, 0-1000 ppm érintőképernyővel, pontosság 0,1 ppm; Az oxigénadó az American AII márkát alkalmazza, 0-1000 ppm érintőképernyővel, pontossága 0,1 ppm; Nyomásérzékelő amerikai Setra márkát alkalmaz, -2500-2500Pa érintőképernyős kijelző, pontosság ±1Pa; 13. Vákuumszivattyú: Brit EDWARDS márka, 8,4 m-es szivattyúzási sebesség3/óra-12 perc3/óra 14. Kesztyűk: American NORTH márkájú butil szintetikus kaucsuk. 15. Világítási rendszer: Philips márkájú fénycső. | |
| Termékleírás | · Háromcélú magnetronos porlasztó alkatrész: 950 mm × 460 mm × 810 mm. · Kesztyűtartó rész: 2300 mm × 1500 mm × 1900 mm. |
Három célú RF magnetron porlasztásos bevonó minőségi elkötelezettsége:
Cégünk garantálja, hogy a szállított kompakt plazma porlasztásos bevonatoló új és használatlan, teljes mértékben megfelel a szerződésben foglalt minőségi, specifikációs és teljesítménykövetelményeknek, és hogy a vékonyrétegű akkumulátor-előkészítő rendszerünk kesztyűtartóval megfelelően telepítve, megfelelően használva és karbantartva, valamint az élettartamán belül normálisan működhet.
Garancia:
Egy év korlátozott garancia, élettartamra szóló támogatás (kivéve a nem megfelelő tárolási körülmények miatt rozsdásodott alkatrészeket)
Szolgáltatásaink:
Termékeinket számos ügyfelünk elismeri kiváló teljesítményük, stabil minőségük és hosszú távú tartósságuk miatt. Professzionális műszaki csapatunk teljes körű szolgáltatást nyújt ügyfeleinknek, mint például a termékválasztás, a telepítés és üzembe helyezés, valamint az üzemeltetési képzés. Bármilyen problémával is találkozik használat közben, igyekszünk időszerű és hatékony megoldásokat kínálni, hogy gyártósora hatékonyan és stabilan működjön.
Rólunk:
Nemrégiben Szingapúr kerületünk részt vett az Asia Photonics Expón (APE 2025), ahol bemutattuk csiszoló- és polírozógépeinket, bevonatoló gépeinket és egyéb termékeinket. Miután részletesen megismerkedtek a termékekkel, sok ügyfél dicsérte berendezéseinket, és kifejezte együttműködési szándékát velünk.
