Kétfejű nagyvákuumú magnetron plazma porlasztásos bevonatoló
A VTC-600-2HD kétfejes magnetronos porlasztó bevonatoló berendezés egy cégünk által újonnan kifejlesztett nagyvákuumú bevonóberendezés, amely egyrétegű vagy többrétegű ferroelektromos filmek, vezetőképes filmek, ötvözetfilmek, félvezető filmek, kerámia filmek, dielektromos filmek, optikai filmek, oxidfilmek, kemény filmek, PTFE filmek stb. előállítására szolgál. A VTC-600-2HD kétfejes magnetronos porlasztó bevonatoló két célpisztollyal és két tápegységgel van felszerelve, egy RF tápegységgel a nem vezetőképes anyagok porlasztására, és egy DC tápegységgel a vezetőképes anyagok porlasztására.
- Shenyang Kejing
- Senjang, Kína
- 22 munkanap
- 50 szett
- információ
Termékbemutató
A VTC-600-2HD kétfejes magnetronos porlasztásos bevonóberendezés egy újonnan kifejlesztett, nagyvákuumú bevonórendszer, amelyet cégünk függetlenül tervezett és gyártott. Alkalmas egy- vagy többrétegű filmek, például ferroelektromos filmek, vezetőképes filmek, ötvözetfilmek, félvezető filmek, kerámia filmek, dielektromos filmek, optikai filmek, oxidfilmek, kemény bevonatok és PTFE (politetrafluoretilén) filmek előállítására.
Ez a rendszer két porlasztópisztollyal és két tápegységgel van felszerelve – egy RF tápegységgel a nem vezetőképes anyagok porlasztásához és egy DC tápegységgel a vezetőképes anyagok porlasztásához. Egy opcionális erős mágneses céltárgy is konfigurálható ferromágneses anyagok porlasztásához. A hasonló berendezésekhez képest a VTC-600-2HD kompakt kialakítású, könnyen kezelhető és széleskörű anyagkompatibilitással rendelkezik, így ideális eszköz laboratóriumi méretű vékonyréteg-előkészítéshez különféle anyagrendszereken.
Főbb jellemzők
1. Két célpisztollyal van felszerelve, az egyik RF tápegység a nem vezetőképes anyagok porlasztásos bevonatolására szolgál, a másik egyenáramú tápegység pedig a vezetőképes anyagok porlasztásos bevonatolására.
2. Különféle vékonyrétegek állíthatók elő széles alkalmazási körrel.
3. Kis méret és könnyen kezelhető
TMűszaki paraméterek
Termék neve | VTC-600-2HD kétfejes magnetronos porlasztásos bevonatoló | ||
Termékmodell | VTC-600-2HD | ||
Telepítési feltételek | 1. Munkapad követelményei: 2. Vízellátás: 3. Gázellátás: 4. Szellőzés: 5. Tápegység: · Egyfázisú: AC220V 50Hz, 10A. 6. Környezeti feltételek: · Üzemi hőmérséklet: 25℃ ±15℃; páratartalom: ≤55% relatív páratartalom ±10%. · A környezetnek száraznak, pormentesnek, valamint gyúlékony vagy robbanásveszélyes gázoktól mentesnek kell lennie. | ||
Főbb paraméterek (Specifikáció) | Kategória | Specifikáció | Megjegyzések |
| Vákuumrendszer | Vákuumkamra mérete：D φ295 × H265 mm | - | |
Vákuumszivattyú készlet: • Turbópumpa: Hipace 80 | Eredeti Pfeiffer (Németország) | ||
| Alap vákuum：5.0E-3 Pa (5.0E-5 hPa) | Szükséges alapvákuum a lerakódás előtt | ||
Végső vákuum：5.0E-4 Pa (5.0E-6 hPa) | A helyszíni környezet és a rendszer tömítettsége befolyásolja | ||
Üzemi nyomás: 0,1–5 Pa (0,001–0,05 hPa) | Főként argon; reaktív gázok adhatók hozzá | ||
| Szivattyúzási sebesség: • Előretolt szivattyú 1 m³/h; Turbószivattyú 67 l/s | A porszívózási idő a szivattyúzási sebességtől függ | ||
PTápellátás konfigurációja | Teljesítmény típusa és mennyisége: DC ×1, RF ×1 | DC：fémes céltárgyakhoz, RF：szigetelő céltárgyakhoz; (Opcionális, erős mágneses céltárgy illeszthető a tápegység típusához) | |
Kimeneti teljesítménytartomány: • Egyenáram: 0–500 W • Rádiófrekvenciás teljesítmény: 0–300 W | Teljesítmény vagyBemeneti mód / Maximális kimeneti teljesítmény | ||
Egyezési impedancia: 50Ω | Biztosítja az erőátvitel hatékonyságát és stabilitását | ||
Gázszabályozás | Üzemi gáz: Standardd: Argon (Ar) | Ajánlott: Ar, tisztaság 99,999 | |
Gázáramlás(2 csatorna) • 1. csatorna: 1–100 sccm | AA védőgázok típusai szükség esetén testre szabhatók | ||
Áramlásmérő pontossága: ±1% FS | - | ||
| Forgó mintaasztal | Színpadméret: Ø132 mm | ≈5,2 hüvelyk | |
Forgási sebesség: 1–20 fordulat/perc | Javítja a fólia egyenletességét | ||
Fűtési hőmérséklet: RT~500°C | Mintaasztal felületi hőmérséklete | ||
Hőmérséklet pontossága: ±1°C | - | ||
Magnetron célpont | Célzott mennyiség: 2 db | Önállóan vagy egyszerre is használható | |
Célméret: Ø2 hüvelyk, vastagság 0,1–5 mm | A vastagság a célanyagtól függően változik | ||
Cél-hordozó távolság：85–115 mm, állítható | A nagyobb távolság javítja az egyenletességet, kissé csökkenti a sebességet | ||
Hűtési módszer: Vízhűtés | Vízkeringetés a célpont hűtésére | ||
Lerakódási teljesítmény és egyéb | Film egyenletessége: ±5% (Ø100 mm-es hordozó esetén) | Kulcsfontosságú tényezők: optimalizált cél-hordozó távolság és forgási sebesség | |
| Filmvastagság tartomány：10 nm–10 µm | A túlzott vastagság feszültségrepedést okozhat | ||
Max. Teljesítményfelvétel: • Főegység: 500 W; • RF tápegység: 1100 W; • Egyenáramú tápegység: 750 W | A főegység, az RF tápegység, az egyenáramú tápegység és a filmvastagság-mérő mind egymástól függetlenül táplálhatók. | ||
| Bemeneti teljesítmény: • Egyfázisú AC220V 50/60Hz | |||
Főegység méretei：600 mm × 750 mm × 900 mm | Magasság nyitott fedéllel: 1050 mm | ||
ATeljes méretek: 1300 mm × 750 mm × 900 mm | énTartalmazza a vezérlő- és szivattyúteret | ||
| Teljes súly：160kg | Kompakt felépítés kis helyigényű | ||
Standard tartozékok
| Nem. | név | mennyiség | kép |
| 1 | DC tápegység-vezérlő rendszer | 1 készlet | - |
| 2 | RF tápegység-vezérlő rendszer | 1 készlet | - |
| 3 | Filmvastagság-ellenőrző rendszer | 1 készlet | - |
| 4 | Turbószivattyú (Német import vagy hazai, nagyobb szivattyúzási sebességgel) | 1 egység | - |
| 5 | Hűtő | 1 egység | - |
| 6 | Poliészter PU cső (Ø6 mm) | 4 méter | - |
Opcionális tartozékok
| Nem. | név | Funkciókategória | kép |
| 1 | Különböző célanyagok, például arany, indium, ezüst, platina stb. | Választható | - |
| 2 | Opcionális erős mágneses céltárgy ferromágneses anyagok porlasztásához | Választható | - |
| 3 | Kétrétegű forgó lerakókészülék | Választható | - |
Garancia
Egy év korlátozott élettartamra szóló támogatással (a nem megfelelő tárolási körülmények miatt rozsdásodott alkatrészek kivételével)
Logisztika
