Kétfejes nagyvákuumú mágneses plazmaporlasztó bevonat

brand Shenyang Kejing

a termékek származási helye Shenyang, Kína

a szállítási idő 22 munkanap

szállítási kapacitás 50 készlet

A VTC-600-2HD kétfejes mágneses porlasztó bevonat egy nagyvákuumú bevonóberendezés, amelyet cégünk újonnan fejlesztett ki, és egyrétegű vagy többrétegű ferroelektromos fóliák, vezetőképes fóliák, ötvözött fóliák, félvezető fóliák, kerámia fóliák készítésére szolgál, dielektromos fólia, optikai fólia, oxidfilm, kemény fólia, PTFE fólia stb. A VTC-600-2HD kétfejű magnetronos porlasztó bevonat két célpisztollyal és két tápegységgel van felszerelve, egy rádiófrekvenciás tápegységgel a nem vezető anyagok porlasztásához anyagokat, valamint egy egyenáramú tápegységet vezető anyagok porlasztásos bevonásához.

Email

Kétfejes nagyvákuumú mágneses plazmaporlasztó bevonat

Főbb jellemzői

1. Két célpisztollyal van felszerelve, egy RF tápegységet nem vezető anyagok porlasztására, egy egyenáramú tápegységet pedig vezető anyagok porlasztására használják.

2. Különféle vékony filmek készíthetők sokrétű alkalmazási lehetőséggel.

3. Kis méretű és könnyen kezelhető

Tműszaki paraméterek

termék név	VTC-600-2HD kétfejű mágneses porlasztó bevonat
termék modell	VTC-600-2HD
Telepítési feltételek	Ezt a berendezést 1000 m vagy annál kisebb magasságban, 25 ± 15 ℃ hőmérsékleten és 55%Rh±10%Rh páratartalom mellett kell használni. 1. Víz: A berendezés önkeringető vízhűtővel van felszerelve (tiszta vízzel vagy ioncserélt vízzel feltöltve) 2. Áram: AC220V 50Hz, jó földeléssel kell rendelkezni 3. gáz: A berendezés kamráját fel kell tölteni argongázzal (tisztaság 99,99% vagy nagyobb), és a felhasználóknak biztosítaniuk kell argongázpalackokat (Ø6 mm-es kettős érvéghüvelyekkel) és nyomáscsökkentő szelepet. 4. Munkaasztal: 1500 mm × 600 mm × 700 mm méretű, 200 kg-nál nagyobb csapágy 5. Szellőztető berendezés: szükséges
Főbb paraméterek (Leírás)	1. Tápfeszültség: 220V 50Hz 2. Teljesítmény: 900W 3. Kamra belső átmérője: Ø300mm 4. Vákuumfok határértéke: 9,0×10-4Pa 5. A mintafokozat fűtési hőmérséklete: RT-500 ℃, pontosság ±1 ℃ (A hőmérséklet a tényleges igényeknek megfelelően növelhető.) 6. Célfegyverek száma: 2 db (opcionálisan egyéb mennyiségek) 7. A célpisztoly hűtési módja: vízhűtés 8. A célanyag mérete: Ø2″, vastagsága 0,1-5 mm (különböző vastagságok a különböző célanyagok miatt) 9. DC porlasztási teljesítmény: 500W; RF porlasztási teljesítmény: 300 W (A céltápegység típusa opcionális, választhat két egyenáramú tápegységet vagy két RF tápegységet, vagy egy egyenáramú tápegységet és egy RF tápegységet.) 10. Mintaszakasz: Ø140mm, opcionális előfeszítő feszültség funkció telepíthető az ügyfél igényei szerint a bevonat magasabb minőségének elérése érdekében. 11. A mintavételi fokozat sebessége: 1-20 ford./perc között állítható 12. Munkagáz: Ar és egyéb inert gázok 13. Beszívott levegő útja: A tömegáram-mérő 2 levegő beszívási utat vezérel, az egyik 100SCCM, a másik pedig 200SCCM.
A termék mérete és súlya	1. fő gép mérete: 500mm × 560mm × 660mm 2. Teljes méret: 1300mm×660mm×1200mm 3. Vákuumkamra mérete: φ300×300mm 4. Súly: 160kg
Standard tartozékok	1. DC teljesítményvezérlő rendszer: 1 készlet 2. RF teljesítményvezérlő rendszer: 1 készlet 3. Filmvastagság-figyelő rendszer: 1 készlet 4. Molekuláris szivattyú (Németországból importált): 1 db 5. Vízhűtő: 1 db 6.Poliészter PU cső (Ø6mm): 4m
választható kiegészítők	Különféle célanyagok, mint például arany, indium, ezüst, platina stb.