Nagyvákuumú magnetron plazma porlasztásos bevonatoló
1. A kettős célpontú magnetronos porlasztó bevonatoló berendezés bemeneti teljesítménye 220V/50Hz, az üreg belső átmérője pedig Ø300mm.
2. A kettős célpontú magnetronos porlasztó bevonatoló célpisztoly hűtési módszere vízhűtést alkalmaz.
3. A kettős célpontú magnetronos porlasztó bevonatoló gáztöltő rendszere kétutas tömegárammérőt használ (1 utas argon 100scc, 2 utas argon 200scc). Speciális gázok igény szerint testreszabhatók.
- Shenyang Kejing
- Senjang, Kína
- 10 munkanap
- 50 szett
- információ
Kettős fejű magnetronos porlasztásos bevonatoló bemutatása:
A VTC-600-2HD-1000 kétfejes magnetronos porlasztó bevonóberendezés egy újonnan kifejlesztett nagyvákuumú bevonóberendezés. Használható egyrétegű vagy többrétegű ferroelektromos filmek, vezetőképes filmek, ötvözetfilmek, félvezető filmek, kerámia filmek, dielektromos filmek, optikai filmek, oxidfilmek, kemény filmek, politetrafluoretilén filmek stb. előállítására. A kétfejes magnetronos porlasztó bevonóberendezés két célpisztollyal és két tápegységgel van felszerelve, az egyik RF tápegység a nem vezetőképes anyagok porlasztásos bevonására, a másik egyenáramú tápegység pedig a vezetőképes anyagok porlasztásos bevonására szolgál. A kétfejes magnetronos porlasztó bevonóberendezés erős mágneses célpontokkal is felszerelhető ferromágneses anyagok porlasztásos bevonására. A hasonló berendezésekhez képest a kétfejes magnetronos porlasztó bevonóberendezés előnye a kis méret és az egyszerű kezelhetőség, valamint a felhasználható anyagok széles választéka. Ideális berendezés különféle anyagfilmek laboratóriumi előállítására.
A kettős fejű magnetron plazma porlasztásos bevonatoló előnyei:
1. A kétfejes magnetron plazma porlasztásos bevonatoló berendezés két célpisztollyal van felszerelve, az egyik RF tápegységgel rendelkezik a nem vezetőképes célanyagok porlasztásos bevonásához, a másik pedig egyenáramú tápegységgel a vezetőképes anyagok porlasztásos bevonásához.
2. A kettős fejű magnetron plazma porlasztásos bevonatoló berendezés különféle vékonyrétegek előállítására képes, és széles körű alkalmazási lehetőségekkel rendelkezik.
3. A kettős fejű magnetron plazma porlasztásos bevonatoló kis méretű és nagyon könnyen kezelhető.
A kettős célpontú magnetron porlasztó bevonatoló műszaki paraméterei:
| Termék neve | VTC-600-2HD-1000 kettős fejű magnetronos porlasztásos bevonatoló |
| Termékmodell | VTC-600-2HD-1000 |
| Telepítési feltételek | Ezt a berendezést 25 ℃ ± 15 ℃ hőmérsékleten és 55% ± 10% relatív páratartalom mellett kell használni. 1. Víz: A berendezés önkeringető hűtővíz-géppel van felszerelve (tiszta vízzel vagy ioncserélt vízzel töltve) 2. Elektromos hálózat: AC220V 50Hz, jól földeltnek kell lennie. 3. Gáz: A berendezés kamráját argonnal kell feltölteni (99,99% feletti tisztaságú), és elő kell készíteni a saját argon gázpalackját (Ø6 mm-es dupla hüvelyes csatlakozóval) és a nyomáscsökkentő szelepet. 4. Munkapad: méret 1500 mm × 600 mm × 700 mm, teherbírás 200 kg felett. 5. Szellőztetőberendezés: kötelező. |
| Fő paraméterek | 1. Bemeneti teljesítmény: 220V/50Hz. 2. Porlasztási célpontok száma: 2. 3. Kamra belső átmérője: Ø300 mm. 4. A célfegyver hűtési módja: vízhűtés. 5. Végső vákuumfok: 9,0×10-4Jól. 6. Vákuumkamra specifikációi: Φ300×330 mm. 7. Vákuumrendszer: VRD-16 mechanikus szivattyú FF-100/150 turbomolekuláris szivattyú. 8. Vákuum visszaállítása: A rendszert a légkörből 5,0E-re pumpálják.-3pa≤30 perc (a rendszer rövid ideig ki van téve a légkör hatásának). 9. Felfújó rendszer: 2 utas tömegárammérő (1 utas argon 100scc, 2 utas argon 200scc) Speciális gázok testreszabhatók. 10. Porlasztási célpont specifikációi: Φ2", vastagság 0,1-5 mm (a vastagság a különböző célpontanyagok miatt változik). 11. Mintaasztal: Φ140mm/forgatható (1-20 fordulat/perc)/fűthető (szobahőmérséklet-1000℃). |
| Termékleírás | Gazdagép mérete: szélesség 900 mm × mélység 650 mm × magasság 1100 mm |
Rólunk:
Mielőtt a termék elhagyná a gyárat, munkatársaink átfogó tesztelést végeznek a termék pontosságának és stabilitásának biztosítása érdekében. Ugyanakkor professzionális értékesítés utáni szervizcsapatunk is van. Ha bármilyen kérdése van a termékkel kapcsolatban, csapatunk időben válaszol, hogy berendezése hosszú ideig stabilan működhessen.
