Nagy vákuumú mágneses plazma porlasztó bevonat
1. A kettős célú magnetron porlasztó bevonó bemeneti teljesítménye 220V/50Hz, az üreg belső átmérője pedig Ø300mm.
2. A kettős célú magnetronos porlasztó bevonat célpisztolyhűtési módszere vízhűtést alkalmaz.
3. A kettős célú magnetronos porlasztó bevonat gáztöltő rendszere 2-utas tömegáram-mérőt használ (1-utas argon 100scc, 2-utas argon 200scc). A speciális gázok testreszabhatók.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Kína
- 10 munkanap
- 50 készlet
- információ
A kétfejű magnetronos porlasztó bevonat bemutatása:
A VTC-600-2HD-1000 kétfejű magnetronos porlasztó bevonat egy nagyvákuumú bevonóberendezés, amelyet cégünk újonnan fejlesztett ki. Egyrétegű vagy többrétegű ferroelektromos fóliák, vezetőképes fóliák, ötvözött fóliák, félvezető fóliák, kerámia fóliák, dielektromos fóliák, optikai fóliák, oxidfilmek, kemény fóliák, politetrafluoretilén fóliák stb. készítésére használható. Kétfejű magnetronos tápegység két rádiófrekvenciás bevonattal van felszerelve. nem vezető anyagok porlasztására szolgál, egy egyenáramú tápegységet pedig vezető anyagok porlasztásos bevonására használnak. A kétfejű magnetronos porlasztó bevonat erős mágneses célpontokkal szerelhető fel ferromágneses anyagok porlasztására. A hasonló berendezésekkel összehasonlítva a kétfejű magnetronos porlasztó bevonat előnye a kis méret és a könnyű kezelhetőség, valamint a felhasználható anyagok széles választéka. Ideális berendezés különféle anyagfilmek laboratóriumi elkészítéséhez.
A kétfejű magnetron plazmaporlasztó bevonat előnyei:
1. A kétfejű magnetron plazmaporlasztó bevonat két célpisztollyal van felszerelve, amelyek közül az egyik RF tápegységgel rendelkezik a nem vezető célanyagok porlasztásához, a másik pedig egy egyenáramú tápegységgel a vezető anyagok porlasztásához.
2. A kétfejű magnetronos plazmaporlasztó bevonat különféle vékony filmek készítésére alkalmas, és sokféle alkalmazással rendelkezik.
3. A kétfejű magnetron plazmaporlasztó bevonat kis méretű és nagyon könnyen kezelhető.
A kettős célú magnetronos porlasztó bevonat műszaki paraméterei:
| Termék neve | VTC-600-2HD-1000 kétfejű mágneses porlasztó bevonat |
| Termékmodell | VTC-600-2HD-1000 |
| Telepítési feltételek | Ezt a berendezést 25℃±15℃ hőmérsékleten és 55%Rh±10%Rh páratartalom mellett kell használni. 1. Víz: A berendezés önkeringető hűtővíz géppel van felszerelve (tiszta vízzel vagy ioncserélt vízzel feltöltve) 2. Áram: AC220V 50Hz, jól földelni kell. 3. Gáz: A berendezés kamráját fel kell tölteni argonnal (99,99% feletti tisztaság), valamint elő kell készíteni egy saját argon gázpalackot (Ø6mm dupla érvéghüvellyel) és nyomáscsökkentő szelepet. 4. Munkaasztal: 1500mm×600mm×700mm méret, 200kg feletti teherbírás. 5. Szellőztető berendezés: szükséges. |
| Fő paraméterek | 1. Bemeneti teljesítmény: 220V/50Hz. 2. Porlasztó célpontok száma: 2. 3. Kamra belső átmérője: Ø300mm. 4. A célpisztoly hűtési módja: vízhűtés. 5. Végső vákuumfok: 9,0x10-4Pa. 6. Vákuumkamra jellemzői: Φ300×330 mm. 7. Vákuumrendszer: VRD-16 mechanikus szivattyú FF-100/150 turbomolekuláris szivattyú. 8. Vákuum visszaállítása: A rendszert a légkörből 5,0E-3pa≤30 percre szivattyúzzák (a rendszert rövid ideig a légkör hatásának teszik ki). 9. Felfújó rendszer: 2-utas tömegáram-mérő (1-utas argon 100scc, 2-utas argon 200scc) Különleges gázok testreszabhatók. 10. A porlasztó céltárgy specifikációi: Φ2", vastagság 0,1-5 mm (a vastagság a különböző célanyagoktól függően változik). 11. Minta fokozat: Φ140mm/forgatható (1-20rpm)/fűthető (szobahőmérséklet-1000℃). |
| Termékleírások | Gazda mérete: szélesség 900 mm × mélység 650 mm × magasság 1100 mm |
Rólunk:
Mielőtt a termék elhagyná a gyárat, munkatársaink átfogó tesztelést végeznek, hogy biztosítsák a termék pontosságát és stabilitását. Ugyanakkor van egy professzionális értékesítés utáni szolgáltatási csapatunk is. Ha kérdése van a termékkel kapcsolatban, csapatunk időben válaszol, hogy berendezése hosszú ideig stabilan üzemelhessen.
