Plazma porlasztó bevonat 3 porlasztó forrással
brand Shenyang Kejing
a termékek származási helye Shenyang, Kína
a szállítási idő 22 munkanap
szállítási kapacitás 50 szett
A VTC-600-3HD háromfejű mágneses porlasztó bevonat egy cégünk által újonnan kifejlesztett bevonóberendezés, amelyet egyrétegű vagy többrétegű ferroelektromos fólia, vezető fólia, ötvözött fólia, félvezető fólia, kerámia fólia, dielektromos fólia készítésére használnak. , optikai fólia, oxidfilm, keményfólia, PTFE fólia stb. A VTC-600-3HD háromfejes magnetronos porlasztó bevonógép három célpisztollyal, egy rádiófrekvenciás tápegységgel a nem vezető anyagok porlasztásához és két egyenáramú tápegységgel van felszerelve. kellékek vezető anyagok porlasztásos bevonásához.
Főbb jellemzői
1. Három célpisztollyal van felszerelve, egy RF tápegységet nem vezető anyagok porlasztására, két egyenáramú tápegységet pedig vezető anyagok porlasztására használnak (a célpisztoly az ügyfél igényei szerint cserélhető) .
2. Különféle vékonyrétegek készíthetők, sokféle alkalmazással.
3. Kis méretű és könnyen kezelhető
4. Az egész gép moduláris felépítése; a vákuumkamra, a vákuumszivattyú csoport és a vezérlő tápegység külön/osztott típusú kialakítása, amely a felhasználók aktuális igényei szerint állítható.
5. A tápegység a felhasználó aktuális igényei szerint választható meg. Egy tápegység több célágyút vezérelhet, vagy több áramforrás vezérelhet egyetlen célágyút.
Tműszaki paraméterek
termék név | VTC-600-3HD háromfejű mágneses porlasztó bevonat |
termék modell | VTC-600-3HD |
Telepítési feltételek | Ezt a berendezést 1000 m vagy annál kisebb magasságban, 25 ± 15 ℃ hőmérsékleten és 55%Rh±10%Rh páratartalom mellett kell használni. 1. Víz: A berendezés önkeringető vízhűtővel van felszerelve (tiszta vízzel vagy ioncserélt vízzel feltöltve) 2. Áram: AC220V 50Hz, jó földeléssel kell rendelkezni 3. gáz: A berendezés kamráját fel kell tölteni argongázzal (tisztaság 99,99% vagy nagyobb), és a felhasználóknak biztosítaniuk kell argongázpalackokat (Ø6 mm-es kettős érvéghüvelyekkel) és nyomáscsökkentő szelepet. 4. Munkaasztal: 1500 mm × 600 mm × 700 mm méretű, 200 kg-nál nagyobb csapágy 5. Szellőztető berendezés: szükséges |
Főbb paraméterek (Leírás) | 1. Tápfeszültség: 220V 50Hz 2. Teljesítmény: ＜2,5 kW 3. Vákuumfok határértéke: E-6mbar (Cégünk berendezéseivel együtt használva az E-5mbar érhető el) 4. Fűtési hőmérséklet: RT-500 ℃, pontosság ±1 ℃ (A hőmérséklet a tényleges igényeknek megfelelően növelhető.) 5. Célágyúk száma: 3 db 6. A célpisztoly hűtési módja: vízhűtés 7. A célanyag mérete: Ø2″, vastagság 0,1-5 mm (különböző vastagságok a különböző célanyagok miatt) 8. DC porlasztási teljesítmény: 500 W (opcionális) 9. RF porlasztási teljesítmény: 300 W/500 W (opcionális) 10. Mintaszakasz: Ø140mm, opcionális előfeszítő feszültség funkció telepíthető az ügyfél igényei szerint a bevonat magasabb minőségének elérése érdekében. 11. A mintavételi fokozat sebessége: 1-20 ford./perc között állítható 12. Munkagáz: Ar , N2és egyéb inert gázok 13. Beszívott levegő útja: A tömegáram-mérő 2 légbeszívási utat vezérel, az egyik 100SCCM, a másik pedig 200SCCM. |
A termék mérete és súlya | fő gép mérete: 500mm × 560mm × 660mm Teljes méret: 1300mm × 660mm × 1200mm Súly: 160 kg
|
Standard tartozékok | 1. DC teljesítményvezérlő rendszer: 2 készlet 2. RF teljesítményvezérlő rendszer: 1 készlet 3. Filmvastagság-figyelő rendszer: 1 készlet 4. Molekuláris szivattyú (Németországból importált): 1 db 5. Vízhűtő: 1 db 6.Poliészter PU cső (Ø6mm): 4m |
választható kiegészítők | 1. Különféle célanyagok, mint például arany, indium, ezüst, platina stb. 2. Maszk 3. Rezgő mintafokozat |
Garancia
Egy év korlátozott élettartam támogatással (nem számítva a nem megfelelő tárolási körülmények miatt rozsdás részeket)
Logisztika
