Plazma porlasztó bevonat 3 porlasztó forrással
A VTC-600-3HD háromfejű mágneses porlasztó bevonat egy cégünk által újonnan kifejlesztett bevonóberendezés, amelyet egyrétegű vagy többrétegű ferroelektromos fólia, vezető fólia, ötvözött fólia, félvezető fólia, kerámia fólia, dielektromos fólia készítésére használnak. , optikai fólia, oxidfilm, keményfólia, PTFE fólia stb. A VTC-600-3HD háromfejes magnetronos porlasztó bevonógép három célpisztollyal, egy rádiófrekvenciás tápegységgel a nem vezető anyagok porlasztásához és két egyenáramú tápegységgel van felszerelve. kellékek vezető anyagok porlasztásos bevonásához.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Kína
- 22 munkanap
- 50 szett
- információ
Főbb jellemzői
1. Három célpisztollyal van felszerelve, egy RF tápegységet nem vezető anyagok porlasztására, két egyenáramú tápegységet pedig vezető anyagok porlasztására használnak (a célpisztoly az ügyfél igényei szerint cserélhető) .
2. Különféle vékonyrétegek készíthetők, sokféle alkalmazással.
3. Kis méretű és könnyen kezelhető
4. Az egész gép moduláris felépítése; a vákuumkamra, a vákuumszivattyú csoport és a vezérlő tápegység külön/osztott típusú kialakítása, amely a felhasználók aktuális igényei szerint állítható.
5. A tápegység a felhasználó aktuális igényei szerint választható meg. Egy tápegység több célágyút vezérelhet, vagy több áramforrás vezérelhet egyetlen célágyút.
Tműszaki paraméterek
termék név | VTC-600-3HD háromfejű mágneses porlasztó bevonat |
termék modell | VTC-600-3HD |
Telepítési feltételek | Ezt a berendezést 1000 m vagy annál kisebb magasságban, 25 ± 15 ℃ hőmérsékleten és 55%Rh±10%Rh páratartalom mellett kell használni. 1. Víz: A berendezés önkeringető vízhűtővel van felszerelve (tiszta vízzel vagy ioncserélt vízzel feltöltve) 2. Áram: AC220V 50Hz, jó földeléssel kell rendelkezni 3. gáz: A berendezés kamráját fel kell tölteni argongázzal (tisztaság 99,99% vagy nagyobb), és a felhasználóknak biztosítaniuk kell argongázpalackokat (Ø6 mm-es kettős érvéghüvelyekkel) és nyomáscsökkentő szelepet. 4. Munkaasztal: 1500 mm × 600 mm × 700 mm méretű, 200 kg-nál nagyobb csapágy 5. Szellőztető berendezés: szükséges |
Főbb paraméterek (Leírás) | 1. Tápfeszültség: 220V 50Hz 2. Teljesítmény: ＜2,5 kW 3. Vákuumfok határértéke: E-6mbar (Cégünk berendezéseivel együtt használva az E-5mbar érhető el) 4. Fűtési hőmérséklet: RT-500 ℃, pontosság ±1 ℃ (A hőmérséklet a tényleges igényeknek megfelelően növelhető.) 5. Célágyúk száma: 3 db 6. A célpisztoly hűtési módja: vízhűtés 7. A célanyag mérete: Ø2″, vastagság 0,1-5 mm (különböző vastagságok a különböző célanyagok miatt) 8. DC porlasztási teljesítmény: 500 W (opcionális) 9. RF porlasztási teljesítmény: 300 W/500 W (opcionális) 10. Mintaszakasz: Ø140mm, opcionális előfeszítő feszültség funkció telepíthető az ügyfél igényei szerint a bevonat magasabb minőségének elérése érdekében. 11. A mintavételi fokozat sebessége: 1-20 ford./perc között állítható 12. Munkagáz: Ar , N2és egyéb inert gázok 13. Beszívott levegő útja: A tömegáram-mérő 2 légbeszívási utat vezérel, az egyik 100SCCM, a másik pedig 200SCCM. |
A termék mérete és súlya | fő gép mérete: 500mm × 560mm × 660mm Teljes méret: 1300mm × 660mm × 1200mm Súly: 160 kg
|
Standard tartozékok | 1. DC teljesítményvezérlő rendszer: 2 készlet 2. RF teljesítményvezérlő rendszer: 1 készlet 3. Filmvastagság-figyelő rendszer: 1 készlet 4. Molekuláris szivattyú (Németországból importált): 1 db 5. Vízhűtő: 1 db 6.Poliészter PU cső (Ø6mm): 4m |
választható kiegészítők | 1. Különféle célanyagok, mint például arany, indium, ezüst, platina stb. 2. Maszk 3. Rezgő mintafokozat |
Garancia
Egy év korlátozott élettartam támogatással (nem számítva a nem megfelelő tárolási körülmények miatt rozsdás részeket)
Logisztika
