Egyfejű nagyvákuumú mágneses plazmaporlasztó bevonat

brand Shenyang Kejing

a termékek származási helye Shenyang, Kína

a szállítási idő 22 munkanap

szállítási kapacitás 50 szett

A VTC-600-1HD egyfejű mágneses porlasztó bevonat egy nagyvákuumú bevonóberendezés, amelyet cégünk újonnan fejlesztett ki, és egyrétegű vagy többrétegű ferroelektromos fóliák, vezetőképes fóliák, ötvözetfóliák, félvezető fóliák, kerámia fóliák készítésére szolgál, dielektromos fólia, optikai film, oxidfilm, kemény fólia, PTFE film stb.
A VTC-600-1HD egyfejű magnetronos porlasztó bevonat egy célpisztollyal van felszerelve, erős vagy gyenge mágneses célpont kiválasztásához.

Email

Egyfejű nagyvákuumú mágneses plazmaporlasztó bevonat

Főbb jellemzői

1. Egy célpisztollyal van felszerelve, egy RF tápegységet választva a nem vezető anyagok porlasztására, vagy egy egyenáramú tápegységet használnak vezető anyagok porlasztására.

2. Különféle vékony filmek készíthetők sokrétű alkalmazási lehetőséggel.

3. Kis méretű és könnyen kezelhető

Tműszaki paraméterek

termék név	VTC-600-1HD egyfejű mágneses porlasztó bevonat
termék modell	VTC-600-1HD
Telepítési feltételek	Ezt a berendezést 1000 m vagy annál kisebb magasságban, 25 ± 15 ℃ hőmérsékleten és 55%Rh±10%Rh páratartalom mellett kell használni. 1. Víz: A berendezés önkeringető vízhűtővel van felszerelve (tiszta vízzel vagy ioncserélt vízzel feltöltve) 2. Áram: AC220V 50Hz, jó földeléssel kell rendelkezni 3. gáz: A berendezés kamráját fel kell tölteni argongázzal (tisztaság 99,99% vagy nagyobb), és a felhasználóknak biztosítaniuk kell argongázpalackokat (Ø6 mm-es kettős érvéghüvelyekkel) és nyomáscsökkentő szelepet. 4. Munkaasztal: 1500 mm × 600 mm × 700 mm méretű, 200 kg-nál nagyobb csapágy 5. Szellőztető berendezés: szükséges
Főbb paraméterek (Leírás)	1. Tápfeszültség: 220V 50Hz 2. Teljesítmény: <1KW (vákuumszivattyú nélkül) 3. Kamra belső átmérője: Ø300mm 4. Vákuumfok határértéke: 9,0×10-4Pa 5. A mintafokozat fűtési hőmérséklete: RT-500 ℃, pontosság ±1 ℃ (A hőmérséklet a tényleges igényeknek megfelelően növelhető.) 6. Céllőfegyverek száma: 1 db (opcionálisan egyéb mennyiségek) 7. A célpisztoly hűtési módja: vízhűtés 8. A célanyag mérete: Ø2″, vastagság 0,1-5 mm (különböző vastagságok a különböző célanyagok miatt) 9. DC porlasztási teljesítmény: 500W; RF porlasztási teljesítmény: 300 W (A céltápegység típusa opcionális: egy DC tápegység vagy egy RF tápegység.) 10. Mintaszakasz: Ø140mm, opcionális előfeszítő feszültség funkció telepíthető az ügyfél igényei szerint a bevonat magasabb minőségének elérése érdekében. 11. A mintavételi fokozat sebessége: 1-20 ford./perc között állítható 12. Munkagáz: Ar és egyéb inert gázok 13. Beszívott levegő útja: A tömegáram-mérő 2 légbeszívási utat vezérel, az egyik 100SCCM, a másik pedig 200SCCM.
A termék mérete és súlya	1. fő gép mérete: 500mm × 560mm × 660mm 2. Teljes méret: 1300mm×660mm×1200mm 3. Súly: 160kg 4. Vákuumkamra mérete: φ300×300mm
Standard tartozékok	1. DC teljesítményvezérlő rendszer: 1 készlet (opcionális) 2. RF teljesítményvezérlő rendszer: 1 készlet (opcionális) 3. Vízhűtő: 1 db 4. Poliészter PU cső (Ø6mm): 4m
választható kiegészítők	1. Különféle célanyagok, mint például arany, indium, ezüst, platina stb. 2. Filmvastagság-ellenőrző rendszer 3. molekuláris pumpa (Németországból importált)