Egyfejű nagyvákuumú magnetron plazma porlasztásos bevonatoló

A VTC-600-1HD egyfejes magnetronos porlasztásos bevonóberendezés egy cégünk által újonnan kifejlesztett nagyvákuumú bevonóberendezés, amelyet egyrétegű vagy többrétegű ferroelektromos film, vezetőképes film, ötvözetfilm, félvezető film, kerámia film, dielektromos film, optikai film, oxidfilm, kemény film, PTFE film stb. előállítására használnak.
A VTC-600-1HD egyfejes magnetronos porlasztásos bevonatoló berendezés egy célpisztollyal van felszerelve, amely lehetővé teszi az erős vagy a gyenge mágneses célpontok kiválasztását.

brand: Shenyang Kejing
a termékek származási helye: Senjang, Kína
a szállítási idő: 22 munkanap
szállítási kapacitás: 50 szett

információ

Termékbemutató

A VTC-600-1HD egycélpontos magnetronos porlasztásos rendszer egy újonnan kifejlesztett, nagyvákuumú bevonóberendezés, amelyet cégünk tervezett és gyártott. Kifejezetten kutatóintézetek és laboratóriumok számára tervezték, széles körű vékonyrétegek előállítására. A rendszer alkalmas egyrétegű vagy többrétegű filmek, például ferroelektromos filmek, vezetőképes filmek, ötvözetfilmek, félvezető filmek, kerámia filmek, dielektromos filmek, optikai filmek, oxidfilmek, kemény bevonatok és PTFE filmek gyártására.

A VTC-600-1HD egy magnetron porlasztó pisztollyal van felszerelve, amely az alkalmazástól függően erős vagy gyenge mágneses célponttal konfigurálható:

· A gyenge mágneses céltárgy alkalmas nem mágneses anyagok porlasztására.
· Az erős mágneses céltárgyat ferromágneses anyagok hatékony porlasztására tervezték.

A nagyvákuumú kamrával és stabil teljesítményszabályozó rendszerrel rendelkező VTC-600-1HD kiváló filmegyenletességet és tapadást biztosít. Hasonló berendezésekhez képest kompakt kialakítású, könnyen kezelhető és széleskörű anyagkompatibilitást kínál, így ideális választás laboratóriumi vékonyréteg-leválasztáshoz és fejlett anyagkutatáshoz.

Főbb jellemzők

1. Egy célpisztollyal van felszerelve, amelyből egy RF tápegység választható a nem vezetőképes anyagok porlasztásos bevonatolásához, vagy egy DC tápegység a vezetőképes anyagok porlasztásos bevonatolásához.

2. Különféle vékonyrétegek állíthatók elő széles alkalmazási körrel.

3. Kis méret és könnyen kezelhető

TMűszaki paraméterek

Termék neve	VTC-600-1HD egyfejes magnetron porlasztásos bevonatoló
Termékmodell	VTC-600-1HD
Telepítési feltételek	Ezt a berendezést 1000 m vagy annál alacsonyabb tengerszint feletti magasságban, 25 ℃ ± 15 ℃ hőmérsékleten és 55% ± 10% relatív páratartalom mellett kell használni. 1. Víz: A berendezés önkeringtető vízhűtővel van felszerelve (tiszta vízzel vagy ioncserélt vízzel töltve) 2. Elektromosság: AC220V 50Hz, jó földeléssel kell rendelkeznie 3. gáz: A berendezés kamráját argon gázzal (legalább 99,99%-os tisztaságú) kell feltölteni, az argon gázpalackokat (Ø6 mm-es dupla hüvelyes csatlakozással) és a nyomáscsökkentő szelepet pedig a felhasználónak kell biztosítania. 4. Munkapad: méret 1500 mm × 600 mm × 700 mm, teherbírása több mint 200 kg 5. Szellőztetőberendezés: szükséges
Főbb paraméterek (Specifikáció)	1. Tápfeszültség: 220V 50Hz 2. Teljesítmény: <1 kW (vákuumszivattyú nélkül) 3. Kamra belső átmérője: Ø300 mm 4. Vákuumfok határértéke: 9,0 × 10^-4Jól 5. A mintaasztal fűtési hőmérséklete: RT-500 ℃, pontosság ±1 ℃ (A hőmérséklet a tényleges igényeknek megfelelően növelhető.) 6. Célfegyverek száma: 1 db (egyéb mennyiségek opcióként választhatók) 7. A célfegyver hűtési módja: vízhűtés 8. Célanyag mérete: Ø2″, vastagság 0,1-5 mm (a különböző célanyagok miatt eltérő vastagságok lehetségesek) 9. DC porlasztási teljesítmény: 500 W; RF porlasztási teljesítmény: 300 W (A cél tápegység típusa opcionális: egy DC tápegység vagy egy RF tápegység.) 10. Mintaasztal: Ø140 mm, opcionális előfeszítő feszültség funkció telepíthető az ügyfél igényei szerint a jobb bevonatminőség elérése érdekében. 11. A mintavételi szakasz sebessége: 1-20 fordulat/perc között állítható 12. Munkagáz: Ar és más inert gázok 13. Beszívott levegő útvonala: A tömegárammérő 2 levegőbeömlő útvonalat vezérel, az egyik 100SCCM, a másik 200SCCM.
Termék méretei és súlya	1. főgép mérete: 500 mm × 560 mm × 660 mm 2. Teljes méret: 1300 mm × 660 mm × 1200 mm 3. Súly: 160 kg 4. Vákuumkamra mérete: φ300 × 300 mm

Standard tartozékok

Nem.	Név	Mennyiség	Kép
1	DC tápellátás-szabályozó rendszer (opcionális)	1 készlet	-
2	RF teljesítményszabályozó rendszer (opcionális)	1 készlet	-
3	Vízhűtő	1 db	-
4	Poliészter PU cső (Ø6mm)	4 méter	-

Opcionális tartozékok

Nem.	Név	Funkciókategória	Kép
1	Különböző célanyagok, például arany, indium, ezüst, platina stb.	választható	-
2	Opcionális erős mágneses céltárgy ferromágneses anyagok porlasztásához	választható	-
3	Filmvastagság-ellenőrző rendszer	választható	-
4	molekuláris pumpa (Németországból importált)	választható	-