Plazma porlasztásos bevonatoló 3 porlasztási forrással és kesztyűtartóval
A VGB-600-3HD vékonyrétegű akkumulátor-előkészítő rendszer kesztyűtartóban képes kísérleti műveleteket végezni, és egyrétegű vagy többrétegű ferroelektromos film, vezetőképes film, ötvözetfilm, félvezető film, kerámia film, dielektromos film, optikai film, oxidfilm, kemény film, PTFE film stb. előállítására szolgál. A rendszer három célpisztollyal és egy RF tápegységgel van felszerelve különféle célanyagok porlasztásos bevonásához. Az RF tápegység egy átkapcsolóval bármely célfejhez csatlakoztatható.
- Shenyang Kejing
- Senjang, Kína
- 44 munkanap
- 50 szett
- információ
Termékbemutató
AVGB-600-3HD vékonyrétegű akkumulátor-leválasztó rendszerkesztyűtartóban való használatra tervezték, lehetővé téve egyrétegű vagy többrétegű vékonyrétegek, például ferroelektromos filmek, vezetőképes filmek, ötvözetfilmek, félvezető filmek, kerámia filmek, dielektromos filmek, optikai filmek, oxidfilmek, kemény bevonatok és PTFE filmek előállítását.
Ez a rendszer fel van szerelvehárom porlasztó pisztoly, eggyelRF tápegységamely egy átkapcsolóval bármelyik három célpontra átkapcsolható, lehetővé téve a különböző célpontanyagok rugalmas porlasztását.
A hasonló berendezésekhez képest a VGB-600-3HD a következő előnyöket kínálja:szélesebb körű alkalmazási sokoldalúság,kompakt szerkezet, éskönnyű kezelhetőség, így ez egyideális eszköz laboratóriumi vékonyréteg-előkészítéshezKülönösen alkalmasvékonyrétegű akkumulátorok, szilárdtest elektrolitok és OLED anyagok kutatása.
A hagyományos magnetronos porlasztási rendszerekkel ellentétben ez a modell támogatja a porlasztástlítium és lítium alapú célanyagok, így ez egy előnyben részesített megoldás avékonyréteg-bevonatolási kísérletek új energialaboratóriumokban.
Főbb jellemzők
1. A rendszer három célpisztollyal és egy rádiófrekvenciás tápegységgel van felszerelve különféle célanyagok porlasztásos bevonatolásához. Az rádiófrekvenciás tápegység egy átkapcsolóval bármelyik célfejhez csatlakoztatható. (A célpisztollyal az ügyfél igényei szerint cserélhető).
2. Különféle vékonyrétegek állíthatók elő széles alkalmazási körrel.
3. Kis méret és könnyen kezelhető
4. A teljes gép moduláris felépítése; a vákuumkamra, a vákuumszivattyú-csoport és a vezérlő tápegység különálló/osztott kialakítása, amely a felhasználók tényleges igényeihez igazítható. (opcionális)
5. A tápegység a felhasználó tényleges igényei szerint választható ki. Egyetlen tápegység több célfegyvert is vezérelhet, vagy több áramforrás egyetlen célfegyvert is vezérelhet.
6. A kísérleti művelet kesztyűtartóban végezhető, és a bevonási kísérletekhez különféle könnyen oxidálódó céltárgyak cserélhetők.
TMűszaki paraméterek
Termék neve | VGB-600-3HD vékonyrétegű akkumulátor-előkészítő rendszer |
Termékmodell | VGB-600-3HD |
Főbb paraméterek (Specifikáció) | Háromfejű magnetron porlasztó rész: 1. Tápfeszültség: 220V 50Hz 2. Teljes teljesítmény: 2,5 kW 3. Vákuumfok határértéke: E-6mbar (E-3mbar érhető el cégünk mechanikus szivattyúberendezéseivel használva) 4. Fűtési hőmérséklet: RT-500 ℃, pontosság ±1 ℃ (A hőmérséklet a tényleges igényeknek megfelelően növelhető.) 5. Célfegyverek száma: 3 db 6. A célfegyver hűtési módja: vízhűtés 7. Célanyag mérete: Ø2″, vastagság 0,1-5 mm (a különböző célanyagok miatt eltérő vastagságok) 8. Porlasztásos tápegység: 300W (RF)/500W (DC) 9. Mintaasztal: Ø140mm 10. Mintaasztal sebessége: 1 fordulat/perc és 20 fordulat/perc között állítható 11. Munkagáz: Ar, N2és más inert gázok 12. Beszívott levegő útvonala: A tömegárammérő 2 levegőbeömlő útvonalat vezérel, az egyik 100SCCM, a másik 200SCCM. Kesztyűtartó alkatrész: 1. Tápellátás: egyfázisú AC110V-220V 50Hz/60Hz 2. Héj anyaga: 304 rozsdamentes acél 3. Kesztyűtartó kamra: 1220 mm × 760 mm × 900 mm 4. Elülső kamra: 2 elülső kamra van, a nagy elülső kamra Ø360 mm × 600 mm, a kis elülső kamra pedig Ø150 mm × 300 mm. 5. Kamra környezet: víztartalom <1 ppm (20 ℃, 1 atm), oxigéntartalom <1 ppm (20 ℃, 1 atm) 6. Munkagáz: N2, Ar, He és más inert gázok 7. Vezérlőgáz: sűrített levegő vagy inert gáz 8. Redukáló gáz: munkagáz és H keveréke2 (Ha a tisztítórendszer csak a víz eltávolítását végzi, a redukálógáz megegyezik a munkagázzal.) 9. Gáztisztító rendszer: Német BASF deoxidáló anyag, amerikai UOP nagy hatékonyságú vízelnyelő anyag, a tisztítórendszer regenerációs folyamatának automatikus vezérlése, automatikus víz- és oxigéneltávolító funkciók, amelyek képesek a gáz tisztaságának folyamatos fenntartására (víz <1ppm és oxigén <1ppm szinten) hosszú távon 10. Nyomásszabályozó rendszer: A kamra légnyomása automatikusan szabályozható PLC érintőképernyővel, a szabályozási pontosság ±1Pa, és manuálisan is vezérelhető lábkapcsolóval. 11. Szűrőrendszer: A szűrők a bemeneti és kimeneti végeken vannak felszerelve, a szűrési pontosság 0,3 μm. 12. Vezérlőrendszer: SIEMENS színes érintőképernyő (6 hüvelyk), PLC vezérlőrendszer, kínai és angol kétnyelvű kapcsolás * A vízszonda az amerikai GE márkát alkalmazza, 0-1000 ppm érintőképernyővel és 0,1 ppm pontossággal. * Az oxigénadó az American AII márkát alkalmazza, 0-1000 ppm érintőképernyővel és 0,1 ppm pontossággal. * A nyomásérzékelő az amerikai Setra márkát alkalmazza, -2500-2500Pa érintőképernyős kijelzővel és ±1Pa pontossággal. 13. Vákuumszivattyú: Brit EDWARDS márka, 8,4 m3/h-12 m szivattyúzási sebességgel3/óra 14. Kesztyűk: American NORTH márka (butil szintetikus gumi) 15. Világítórendszer: Philips márkájú (fénycső) |
Termék mérete | Háromfejű magnetron porlasztó rész: 950 mm × 460 mm × 810 mm Kesztyűtartó rész: 2300 mm × 1500 mm × 1900 mm |
Garancia
Egy év korlátozott élettartamra szóló támogatással (a nem megfelelő tárolási körülmények miatt rozsdásodott alkatrészek kivételével)
Logisztika
