Plazma porlasztó bevonat 3 porlasztó forrással és kesztyűtartóval
brand Shenyang Kejing
a termékek származási helye Shenyang, Kína
a szállítási idő 44 munkanap
szállítási kapacitás 50 szett
A VGB-600-3HD vékonyrétegű akkumulátor-előkészítő rendszer kísérleti műveleteket végezhet kesztyűtartóban, és egyrétegű vagy többrétegű ferroelektromos fóliák, vezetőképes fóliák, ötvözött fóliák, félvezető fóliák, kerámia fóliák, dielektromos fóliák készítésére szolgál, optikai film, oxidfilm, kemény film, PTFE film stb. A rendszer három célpisztollyal és egy RF tápegységgel van felszerelve a különböző célanyagok porlasztásos bevonásához. Az RF tápegység átviteli kapcsolóval bármilyen célfejhez csatlakoztatható.
Főbb jellemzői
1. A rendszer három célpisztollyal és egy rádiófrekvenciás tápegységgel van felszerelve különböző célanyagok porlasztásos bevonásához. Az RF tápegység átviteli kapcsolóval bármilyen célfejhez csatlakoztatható. (A célpisztoly az ügyfél igényei szerint cserélhető).
2. Különféle vékony filmek készíthetők sokrétű alkalmazási lehetőséggel.
3. Kis méretű és könnyen kezelhető
4. Az egész gép moduláris felépítése; a vákuumkamra, a vákuumszivattyú csoport és a vezérlő tápegység külön/osztott típusú kialakítása, amely a felhasználók aktuális igényei szerint állítható. (választható)
5. A tápegység a felhasználó aktuális igényei szerint választható meg. Egy tápegység több célpisztolyt vezérelhet, vagy több áramforrás vezérelhet egyetlen célpisztolyt.
6. A kísérleti művelet a kesztyűtartóban végezhető, és a bevonatkísérletek során különféle könnyen oxidálódó céltárgyak cserélhetők.
Tműszaki paraméterek
termék név | VGB-600-3HD vékonyrétegű akkumulátor-előkészítő rendszer |
termék modell | VGB-600-3HD |
Főbb paraméterek (Leírás) | Háromfejű magnetron porlasztó rész: 1. Tápfeszültség: 220V 50Hz 2. Teljes teljesítmény: 2,5 kW 3. Vákuumfok határértéke: E-6mbar (Cégünk mechanikus szivattyúberendezéseivel az E-3mbar érhető el) 4. Fűtési hőmérséklet: RT-500 ℃, pontosság ±1 ℃ (A hőmérséklet a tényleges igényeknek megfelelően növelhető.) 5. Célágyúk száma: 3 db 6. A célpisztoly hűtési módja: vízhűtés 7. A célanyag mérete: Ø2″, vastagság 0,1-5 mm (különböző vastagságok a különböző célanyagok miatt) 8. Porlasztó tápegység: 300W (RF)/500W (DC) 9. Mintalap: Ø140mm 10. A mintavételi fokozat sebessége: 1-20 ford./perc között állítható 11. Üzemi gáz: Ar, N2és egyéb inert gázok 12. Beszívott levegő útja: A tömegáram-mérő 2 levegő beszívási utat vezérel, az egyik 100SCCM, a másik pedig 200SCCM. A kesztyűtartó része: 1. Tápellátás: egyfázisú AC110V-220V 50Hz/60Hz 2. Ház anyaga: 304 rozsdamentes acél 3. Kesztyűtartó kamra: 1220mm×760mm×900mm 4. Elülső kamra: 2 elülső kamra van, a nagy elülső kamra Ø360mm × 600mm, a kis elülső kamra pedig Ø150mm × 300mm. 5. Kamrakörnyezet: víztartalom <1ppm (20℃, 1atm), oxigéntartalom <1ppm (20℃, 1atm) 6. Üzemi gáz: N2, Ar, He és más inert gázok 7. Ellenőrző gáz: sűrített levegő vagy inert gáz 8. Redukálógáz: munkagáz és H keveréke2 (Ha a tisztítórendszernek csak a víz eltávolítása a funkciója, a redukáló gáz megegyezik a munkagázzal.) 9. Gáztisztító rendszer: Német BASF dezoxidáló anyag, amerikai UOP nagy hatásfokú vízelnyelő anyag, a tisztítórendszer regenerációs folyamatának automatikus vezérlése, automatikus víz- és oxigéneltávolító funkciók, amelyek képesek folyamatosan fenntartani a gáz tisztaságát (vízszint <1ppm és oxigénszint <1ppm ) hosszútávon 10. Nyomásszabályozó rendszer: A kamra légnyomása automatikusan vezérelhető PLC érintőképernyővel, a szabályozás pontossága ±1Pa, valamint kézi vezérlésű lábkapcsolóval is. 11. Szűrőrendszer: A szűrők a bemeneti és kimeneti végekre vannak felszerelve, és a szűrési pontosság 0,3 μm. 12. Vezérlőrendszer: SIEMENS színes érintőképernyő (6 hüvelyk), PLC vezérlőrendszer, kínai és angol kétnyelvű kapcsolással * A vízszonda az amerikai GE márkát használja, 0-1000 ppm érintőképernyővel és 0,1 ppm pontossággal. * Az oxigénadó az amerikai AII márkát alkalmazza, 0-1000 ppm érintőképernyővel és 0,1 ppm pontossággal. * A nyomásérzékelő az amerikai setra márkát alkalmazza, -2500-2500 Pa érintőképernyővel és ±1 Pa pontossággal. 13. Vákuumszivattyú: brit EDWARDS márka 8,4 m3/h-12m szivattyúzási sebességgel3/h 14. Kesztyűk: Amerikai NORTH márka (butil szintetikus gumi) 15. Világítórendszer: Philips márka (fénycső) |
Termék mérete | Háromfejes magnetron porlasztó rész: 950mm×460mm×810mm Kesztyűtartó rész: 2300mm×1500mm×1900mm |
Garancia
Egy év korlátozott élettartam támogatással (nem beleértve a nem megfelelő tárolási körülmények miatt rozsdás részeket)
Logisztika
