Three Targets Magnetron Sputtering Coater szubsztrátumok és lapkák bevonásához
1. A kesztyűtartóval ellátott vékonyfilm akkumulátor-előkészítő rendszer három célpisztollyal van felszerelve, és egy átalakító kapcsolón keresztül tetszőleges célpont fejhez egy hozzáillő RF tápegység csatlakoztatható, mely különféle célanyagok porlasztásos bevonatára szolgál (a célpisztoly bármikor cserélhető az ügyfél igényei szerint).
2. A kesztyűtartóval ellátott vékonyréteg-akkumulátor-előkészítő rendszer különféle vékony filmeket készíthet, és széles körben használják.
3. A kesztyűtartóval ellátott vékonyfilm akkumulátor-előkészítő rendszer kis méretű és nagyon könnyen kezelhető.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Kína
- 10 munkanap
- 50 szett
- információ
A kompakt plazmaporlasztó bevonat bemutatása:
A VGB-600-3HD vékonyrétegű akkumulátor-előkészítő rendszer kesztyűtartóval kísérleti működésre használható a kesztyűtartóban, és egyrétegű vagy többrétegű ferroelektromos vékonyrétegek, vezetőképes vékonyrétegek, ötvözött vékonyrétegek, félvezető vékonyrétegek, kerámia vékonyrétegek, dielektromos vékonyrétegek, optikai vékonyrétegek, optikai vékonyrétegek, vékonyrétegű dielektromos vékonyrétegek, ferroelektromos vékonyrétegek készítésére szolgál. politetrafluoretilén vékonyrétegek stb. A kompakt plazmaporlasztó bevonógép három célpisztollyal van felszerelve, és a hozzáillő RF tápegység bármely célfejhez csatlakoztatható egy konverziós kapcsolón keresztül, amely különféle célanyagok porlasztására szolgál. A hasonló berendezésekkel összehasonlítva a kompakt plazmaporlasztó bevonó nemcsak széles körben használatos, hanem a kis méret és a könnyű kezelhetőség előnyei is vannak. Ideális berendezés anyagfilmek laboratóriumi elkészítéséhez. A kompakt plazmaporlasztó bevonat különösen alkalmas vékonyfilm akkumulátorok, szilárd elektrolitok és OLED-ek laboratóriumi kutatására. A hagyományos magnetronos porlasztással összehasonlítva Li- és lítium-alapú anyagcélpontokon végzett bevonási kísérletekhez használható. Ideális berendezés laboratóriumi bevonatkísérletek elvégzéséhez az új energiaiparban.
A három célpont RF magnetron porlasztó bevonat előnyei:
1.Three targets RF magnetron porlasztó bevonat moduláris felépítésű, és a vákuumkamra, a vákuumszivattyú csoport és a vezérlő tápegység fel van osztva, és beállítható a felhasználók tényleges igényei szerint.
2. Három célpont Az RF magnetron porlasztó bevonat a felhasználók tényleges igényei szerint választhatja ki a tápegységet. Egy tápegység több célpisztolyt vezérelhet, vagy több tápegység vezérelhet egyetlen célpisztolyt (opcionális).
3. Három célpont RF magnetron porlasztó bevonat használható kísérleti működésre a kesztyűtartóban, és különféle típusú könnyen oxidálható célanyagok helyettesíthetők bevonási kísérletekhez.
A kompakt plazmaporlasztó bevonat műszaki paraméterei:
| Termék neve | VGB-600-3HD kompakt plazmaporlasztó bevonat |
| Termékmodell | VGB-600-3HD |
| Fő paraméterek | Három célpontú magnetron porlasztó rész: 1. Tápfeszültség: 220V 50Hz. 2. Teljes teljesítmény: 2,5KW. 3. Végső vákuum: < E-6mbar (elérheti az E-3mbar-t, ha cégünk mechanikus szivattyúberendezéseivel használjuk). 4. Üzemi hőmérséklet: RT-500 ℃, pontosság ±1 ℃ (a hőmérséklet a tényleges igényeknek megfelelően növelhető). 5. Célágyúk száma: 3. 6. A célpisztoly hűtési módja: vízhűtés. 7. Cél mérete: Ø2″, vastagság 0,1mm-5mm (a vastagság a különböző célanyagoktól függően változik). 8. Porlasztási teljesítmény: 300W (RF)/500W (DC). 9. Mintatartó: Ø140mm. 10. A mintahordozó sebessége: 1-20 ford./perc között állítható. 11. Védőgáz: inert gázok, például Ar és N2. 12. Bemeneti gázút: A tömegáram-mérő 2 bemeneti utat vezérel, az egyik áramlás 100 SCCM, a másik áramlás 200 SCCM. |
Gszerelmes doboz rész: 1. Tápellátás: egyfázisú AC110V-220V 50Hz/60Hz. 2. Ház anyaga: 304 rozsdamentes acél. 3. Kesztyűtartó kamra: 1220mm×760mm×900mm. 4. Előkészületi kamra: 2 előfokozatú kamra van, a nagy előfokozatú kamra Ø360mm × 600mm, a kis előszakasz kamra pedig Ø150mm × 300mm. 5. Kamrakörnyezet: víztartalom <1ppm (20℃, 1atm), oxigéntartalom <1ppm (20℃, 1atm). 6. Munkagáz: inert gázok, például N2, Ar, He. 7. Ellenőrző gáz: sűrített levegő vagy inert gáz. 8. Redukciós gáz: munkagáz és H2 keveréke (ha a tisztítórendszernek csak vízeltávolító funkciója van, a redukciós gáz megegyezik a munkagázzal). 9. Gáztisztító rendszer: német BASF deoxidáló anyagok, amerikai UOP vízelnyelő anyagok, a tisztítórendszer regenerációs folyamatának automatikus vezérlése, automatikus dehidratációs és deoxidációs funkciók, amelyek hosszú ideig képesek fenntartani a gáz tisztaságát <1ppm víznél és oxigénnél <1ppm. 10. Nyomásszabályozó rendszer: Az üreg levegőnyomása automatikusan vezérelhető a PLC érintőképernyővel ±1Pa szabályozási pontossággal, és kézzel is vezérelhető a lábkapcsolóval. 11. Szűrőrendszer: A szűrők a bemeneti és kimeneti végekre vannak felszerelve, 0,3 μm szűrési pontossággal. 12. Vezérlőrendszer: SIEMENS színes érintőképernyő (6 hüvelyk), PLC vezérlőrendszer, kínai és angol kétnyelvű kapcsolható; A vízszonda az amerikai GE márkát alkalmazza, 0-1000 ppm érintőképernyős kijelző, 0,1 ppm pontosság; Az oxigénadó az amerikai AII márkát alkalmazza, 0-1000 ppm érintőképernyős kijelző, 0,1 ppm pontosság; A nyomásérzékelő az amerikai setra márkát alkalmazza, -2500-2500Pa érintőképernyős kijelző, ±1 Pa pontosság; 13. Vákuumszivattyú: brit EDWARDS márka, szivattyúzási sebesség 8,4m3/h-12m3/h. 14. Kesztyű: Amerikai NORTH márkájú butil szintetikus gumi. 15. Világítási rendszer: Philips márkájú fénycső. | |
| Termékleírások | Háromcélú magnetron porlasztó rész: 950mm×460mm×810mm. Kesztyűtartó rész: 2300mm×1500mm×1900mm. |
Három célpont RF magnetron porlasztó bevonat minőségi elkötelezettsége:
Cégünk garantálja, hogy a szállított kompakt plazmaporlasztó bevonat új és nem használt, teljes mértékben megfelel a szerződésben rögzített minőségi, specifikációs és teljesítménykövetelményeknek, valamint kesztyűtartóval ellátott vékonyréteg-akkumulátor-előkészítő rendszerünk a megfelelő beépítési, használati és karbantartási feltételek mellett, az élettartamon belül normálisan működik.
Garancia:
Egy év korlátozott garancia, élettartam támogatás (kivéve a nem megfelelő tárolási körülmények miatt rozsdás alkatrészeket)
Szolgáltatásaink:
Termékeinket sok vásárló elismeri kiváló teljesítményük, stabil minőségük és hosszú távú tartósságuk miatt. Professzionális műszaki csapatunk van, amely teljes körű szolgáltatási támogatást tud nyújtani ügyfeleinek, mint például a termékválasztás, a telepítés és az üzembe helyezés, valamint az üzemeltetési oktatás. Függetlenül attól, hogy a használat során milyen problémákkal találkozik, igyekszünk időben és hatékony megoldásokat kínálni Önnek, hogy gyártósora hatékonyan és stabilan működjön.
Rólunk:
Nem sokkal ezelőtt Szingapúr kerületünk részt vett az Asia Photonics Expo-n (APE 2025), ahol bemutattuk csiszoló- és polírozógépeinket, bevonógépeinket és egyéb termékeinket. A termékek részletes megismerése után sok vásárló méltatta berendezéseinket és kifejezte együttműködési szándékát.
