Vákuumozható és atmoszférikusan szabályozott centrifugális bevonatoló

Termékbemutató

A VTC-200PV vákuumos centrifugális bevonatoló berendezés félvezetők, kristályok, optikai lemezek, litográfia és kapcsolódó alkalmazások felületbevonatolási folyamataihoz készült. Alkalmas erős savas vagy erős lúgos oldatokkal történő bevonatok előállítására.

Ez a rendszer képes kiüríteni a bevonókamrát, lehetővé téve a minták teljes vákuum alatti bevonását. Ez a funkció különösen alkalmas vékonyrétegű anyagokhoz, amelyek hajlamosak az oxidációra vagy a lebomlásra levegőn. Vákuumműködés közben a mintákat egy mintabefogó segítségével rögzítik.

Vákuum-evakuálás hiányában a mintákat vákuumadszorpcióval tartják a hordozótartón. A rendszer akár 12 programot is képes tárolni, amelyek mindegyike 6 egymást követő szakaszt tartalmaz. Minden szakaszhoz különböző forgási sebességek állíthatók be, lehetővé téve, hogy a bevonatoló fokozatosan gyorsuljon a maximális sebességére. Ez biztosítja az egyenletes vékonyréteg-képződést a minta felületén, miközben minimalizálja az anyagveszteséget.

Az olyan előnyöknek köszönhetően, mint az egyszerű kezelhetőség, a kényelmes tisztítás és a kompakt kialakítás, a VTC-200PV vákuumos centrifugális bevonatolót széles körben használják egyetemi és kutatóintézeti laboratóriumokban vékonyréteg-előkészítéshez.

Főbb jellemzők

1. A berendezés 12 programkészletet képes tárolni, és minden készlet 6 futási szakaszt tartalmaz. A gyorsítási és lassítási sebesség beállítási tartománya minden szakaszhoz: 100 fordulat/perc-2000 fordulat/perc, időtartomány minden szakaszhoz: 0-60 s

2. A mintát vákuumadszorpcióval rögzítik, de rögzíthető ragasztással vagy szorítással is, ami könnyen kezelhető.

3. A vákuum mértéke elérheti a -0,08 MPa-t.

4. A minták könnyen középre igazíthatók a pozicionáló eszköz segítségével, így csökkentve a rezgést vagy a rossz illesztésből adódó kipattanásokat.

5. Különböző tokmányok használhatók a minta specifikációi szerint, és a csere kényelmes és egyszerű.

6. 24 V-os kefe nélküli egyenáramú motort alkalmaznak, amelynek előnyei a nagy megbízhatóság, az erős alkalmazkodóképesség, az egyszerű javítás és karbantartás, az alacsony zajszint, a kis rezgés, a stabil működés, a gyors és stabil indítás, a stabil működés gyorsítás után, a bevonat vastagságának állandóságának és egyenletességének biztosítása érdekében.

7. Az olajmentes párhuzamos rudas vákuumszivattyút akkor használják, amikor a mintát vákuum abszorpcióval rögzítik, és előnyei a kis méret, az egyszerű szerkezet, a könnyű kezelhetőség, a kényelmes karbantartás és a környezetszennyezés hiánya.

8. A bevonatolás inert gázatmoszférában (például Ar, N2) végezhető.

9. Amikor a bevonás vákuum alatt történik, a minta hordozóját ragasztással vagy szorítással rögzítik.

10. A kamra PP anyagból készült, hosszabb élettartammal, hogy javítsa a kémiai korrózióval szembeni ellenállást és a kiváló feszültségrepedés-állóságot, a gép teste pedig öntött alumínium szerkezetet alkalmaz, amely tartós és könnyű.

11. Angol operációs rendszer

12. Felnyitott fedél elleni védelem funkcióval rendelkezik. Amikor a felső fedelet a bevonatolási folyamat során vagy a bevonatolás végén kinyitják, a gép azonnal gyorsan lassít, amíg meg nem áll.

13. A vezérlő LCD numerikus kijelzővel ellátott vezérlődobozt használ, amely intuitívabb és megbízhatóbb.

TMűszaki paraméterek

Sstandard kiegészítők

Aopcionális kiegészítők

Garancia

    Egy év korlátozott élettartamra szóló támogatással (a nem megfelelő tárolási körülmények miatt rozsdásodott alkatrészek kivételével)

Logisztika