Kis DC magnetron plazma porlasztó gép

1. A kis magnetron plazma porlasztó készülék bemeneti teljesítménye: 220V AC 50/60Hz

2. A Lab DC magnetron porlasztásos bevonatoló gép teljesítménye: <1000W

3. A laboratóriumi egyenáramú magnetronos porlasztásos bevonatoló gép kimeneti feszültsége: DC 500V

4. Porlasztási áram: 0-80mA, állítható

5. Porlasztási idő: 0-120 másodperc, állítható

1. Kvarckamra méretei: külső átmérő 166 mm x belső átmérő 150 mm x magasság 150 mm

2. Tömítés: Fluor gumi O-gyűrű

3. A céltárgy előporlasztására egy kézzel működtethető zárat szerelnek a peremfedélre. A levegőbevezető cső csatlakoztatásához egy 6,35 mm Ø nyomócsatlakozó szolgál levegőbemeneti nyílásként. A kvarckamra levegővel való feltöltésére egy kézi légtelenítő szelep szolgál.

4. Egy rozsdamentes acélháló borítja a teljes kvarckamrát a plazma védelme érdekében.

5. A munkagáz kamrába jutását a ház jobb oldalán található mikroprecíziós szabályozószelep szabályozza, ezáltal beállítva a kamrán belüli vákuumszintet.

6. A porlasztási áramot a ház jobb oldalán található potenciométer beállításával lehet szabályozni.

1. Egy 2 hüvelykes magnetron porlasztó céltárgyfej vízhűtés nélkül. A magnetron porlasztó céltárgyfej maximális üzemi hőmérséklete 80 Celsius fok. 80 Celsius fok felett a magnetron porlasztó céltárgyfej elveszíti mágnesességét és működésképtelenné válik.

2. Porlasztási idő: 1 és 120 másodperc között állítható

3. Standard rézcélpont mellékelve

4. Célméret követelmény: φ2" x (0,5-5) mm vastagság

5. Alkalmas Au, Ag, Cu és más fémek porlasztására (cégünknél megvásárolható).

1. Állítható magasságú mintaasztal, a mintaasztal és a céltárgy közötti 25-70 mm-es állítható távolsággal.

2. Mintavételi színpad mérete: φ2"

3. Opcionális mintaasztal-fűtés, maximális fűtési hőmérséklet 500°C.

1. Mérési tartomány: 1 × 10⁻⁴ mbar-tól 1000 mbar-ig (1 × 10⁻⁴-től 750 torr-ig)

2. Pontosság: 1000 mbar - 20 mbar (a leolvasott érték 30%-a)

20–0,002 mbar (a leolvasott érték 2%-a)

3. Ismétlési pontosság: 20–0,002 mbar (0,000–0,002 mbar) 2%

4. Üzemi páratartalom: ≤80% 30°C-on, ≤50% 40°C-on, páralecsapódás nélkül;

5. Üzemi hőmérséklet: 5°C-60°C

1. A műszerre egy precíziós kvarc rezgő filmvastagság-mérő van felszerelve, amely lehetővé teszi a filmvastagság valós idejű monitorozását 0,10 Å felbontással.

2. A LED kijelző a fóliavastagság adatainak megjelenítését és bevitelét is biztosítja.

1. Modell: VRD-8

2. Szivattyúzási sebesség: 2,2 l/s

3. Motorteljesítmény: 370 W

4. Végső nyomás: 5 × 10⁻¹ Pa (terheletlenül)

5. Tényleges nyomás: ≤ 5 Pa (mechanikus pumpálás 20 percig hideg körülmények között)

6. Magasabb vákuumszintekhez (10⁻⁶ tonna vagy jobb) hazai vagy importált nagyvákuumú egységek állnak rendelkezésre.

Méretek: 500 mm × 350 mm × 550 mm (H × Sz × M)

Súly: Körülbelül 20 kg (vákuumszivattyú és vízhűtő berendezés nélkül)

1. A kívánt filmvastagság eléréséhez több porlasztási ciklus szükséges.

2. Porlasztás előtt győződjön meg arról, hogy a porlasztófej, a céltárgy, az aljzat és a mintaasztal tiszta.

3. A fólia és az aljzat közötti jó tapadás biztosítása érdekében a porlasztás előtt tisztítsa meg az aljzat felületét.

Egy év garancia és élettartamra szóló műszaki támogatás.

Különleges megjegyzések:

1. A fogyóeszközök, például a fűtőelemek, kvarccsövek és mintatégelyek nem tartoznak a garancia hatálya alá.

2. A korrozív és savas gázok használata által okozott károkra a garancia nem vonatkozik.

· A kamrán belüli nyomás nem haladhatja meg a 0,02 MPa-t (relatív nyomás).

· Mivel a gázpalack belső nyomása viszonylag magas, a kvarccsőbe gáz bevezetésekor nyomáscsökkentő szelepet kell a palackra szerelni. A biztonság érdekében 0,02 MPa alatti nyomást javasoljuk. A nagyobb pontosság és biztonság érdekében javasoljuk, hogy cégünktől vásároljon nyomáscsökkentő szelepet, amelynek tartománya 0,01 MPa-0,1 MPa.

· Nem javasoljuk gyúlékony, robbanásveszélyes vagy mérgező gázok használatát. Ha az Ön folyamata gyúlékony, robbanásveszélyes vagy mérgező gázok használatát igényli, kérjük, tegyen meg megfelelő védő- és robbanásbiztos intézkedéseket. Cégünk nem vállal felelősséget a gyúlékony, robbanásveszélyes vagy mérgező gázok használatából eredő problémákért.