
3 célpontú plazmaporlasztó gép
1. Ez a 3 forgócélú plazmaporlasztásos bevonatoló kompakt kialakítású, így helyet takarít meg a laboratóriumban, és lehetővé teszi az asztalon való elhelyezését.
2. Ez a 33 forgó célpontos plazmaporlasztásos bevonatoló PLC vezérlőpanellel rendelkezik, így a kezelés kényelmesebb és intuitívabb, csökkentve a kísérleti hibákat.
3. 3 forgó célpontos plazma porlasztásos bevonatoló berendezésünket több éves tapasztalattal fejlesztettük ki, teljes mértékben kielégítve az ügyfelek igényeit és kiváló eredményeket biztosítva.
- Shenyang Kejing
- Senjang, Kína
- 10 munkanap
- 50 szett
- információ
A plazma porlasztásos bevonógép bemutatása:
A VTC-16-3HD 3 célpontos plazma porlasztó berendezés egy kompakt, CE-tanúsítvánnyal rendelkező plazma vékonyréteg-porlasztó rendszer, amely képes legfeljebb 2 hüvelyk átmérőjű hordozók bevonására. A 3 célpontos plazma porlasztó berendezés érintőképernyős kezelőpanellel rendelkezik, és három különböző célpontanyagot képes porlasztani. Vékony filmek esetén a porlasztási idő lerövidíthető; vastagabb filmek esetén növelhető. A VTC-16-D 3 célpontos plazma porlasztó berendezést elsősorban vékony fémfilmek előállítására tervezték, legfeljebb 4 hüvelykes gyártási területtel. Kompakt mérete és magas költséghatékonysága ideális bevonórendszerré teszi különféle fém vékonyrétegekhez.
A plazma porlasztásos bevonógép főbb jellemzői:
1. A 3 célpontos plazma porlasztó berendezés PLC vezérlőpanellel, 4,3 hüvelykes érintőképernyővel és PID hőmérséklet-szabályozással van felszerelve.
2. A plazma porlasztásos bevonógép szabályozható paraméterei közé tartozik a vákuumszint, az áram, a célpozíció és az aljzat melegítési hőmérséklete.
3. A plazma porlasztásos bevonatoló gép vákuumszivattyúval és KFD25 rozsdamentes acél harmonika gyorskioldó bilincsekkel használható.
4. A plazma porlasztásos bevonógép CE tanúsítvánnyal rendelkezik.
A plazma porlasztásos bevonógép műszaki paraméterei:
Termék neve | VTC-16-3HD 3 célpontos plazma porlasztó berendezés | |
Modell | VTC-16-3HD 3 | |
Fő paraméterek | 1. 3 forgó célplazma porlasztásos bevonatoló bemeneti teljesítménye: AC 220V 50/60Hz 2. 3 forgó célplazma porlasztásos bevonatoló porlasztási árama: 0-40mA, állítható 3. Teljesítmény: <1kW 4. Kimeneti feszültség: Maximum 1680V DC | |
Porlasztókamra | 1. Anyag: Kvarckamra 2. Méretek: Külső átmérő 166 mm × belső átmérő 150 mm × 150 mm 3. Tömítés: O-gyűrűs tömítés 4. A céltárgy előporlasztására egy kézzel működtethető terelőlemezt szerelnek a peremfedélre. Egy φ 6,35 mm-es kompressziós csatlakozó szolgál levegőbemeneti nyílásként a bemeneti csőhöz való csatlakozáshoz. Egy kézi légtelenítő szeleppel juttatják be a levegőt a kvarckamrába. 5. Egy rozsdamentes acél háló fedi a teljes kvarckamrát a plazma védelme érdekében. | |
6. A kvarckamrába belépő munkagáz áramlási sebességét a ház jobb oldalán található mikroprecíziós szabályozószelep szabályozza, ezáltal beállítva a kamrán belüli vákuumszintet. 7. A porlasztási áramot a ház jobb oldalán található potenciométer beállításával lehet szabályozni. | ||
Cél | 1. Három rézcélpont tartozik hozzá. 2. Céltárgy méretei: φ47 x (0,1-3) mm vastag. 3. Egyéb fémcéltáblák is megvásárolhatók cégünktől; kérjük, vegye fel a kapcsolatot értékesítési osztályunkkal a részletekért. 4. Egy kézi működtetésű terelőlemezt szerelnek fel a céltárgy előporlasztására. | |
Mintavételi szakasz | 1. Egy 50 mm-es forgatható mintaasztal, amelynek a tartóoszlopán csavarok vannak a mintaasztal magasságának beállításához. 2. Mintaasztal elforgatási szöge: 0/120/240 fok. 3. A céltárgy és a mintaasztal közötti távolság 20 és 70 mm között állítható. 4. A mintaasztal opcionálisan fűthető, maximum 500°C hőmérsékletre. | ![]() |
Vezérlőpult | Egy 1,4 hüvelykes, integrált érintőképernyős PLC vezérlőpanel vezérli a vákuumot, az áramerősséget és a minta porlasztási idejét. 2. Az adatnaplózó funkció rögzíti a folyamatparamétereket, például a vákuumot, az áramerősséget és a porlasztási időt minden porlasztási futtatásnál, így az ügyfelek könnyen hozzáférhetnek az adatokhoz. | ![]() |
Vákuumrendszer (opcionális) | 1. Modell: VRD-8 2. Szivattyúzási sebesség: 2,2 l/s 3. Motorteljesítmény: 370 W 4. Határnyomás: 5 × 10⁻¹ Pa (terheletlenül). 5. Tényleges nyomás: ≤ 5 Pa (20 perc mechanikus pumpálás hideg körülmények között). | ![]() |
6. Ha magasabb vákuumfokozatot szeretne elérni (10-5 toor vagy jobb), választhat hazai vagy importált nagyvákuumú egységek vásárlását. | ||
Specifikációk | Méretek: 460 mm × 400 mm × 500 mm (H × Sz × M) Súly: Körülbelül 20 kg | ![]() |
Utasítás | 1. A kívánt filmvastagság eléréséhez több porlasztási ciklus szükséges. 2. Porlasztás előtt győződjön meg arról, hogy a porlasztófej, a céltárgy, a minta és a mintaasztal tiszta. 3. A fólia és az aljzat közötti jó kötés biztosítása érdekében a porlasztás előtt tisztítsa meg az aljzat felületét. Tisztítóberendezéseink erre a célra használhatók. 4. Ez a berendezés kesztyűtartóban (Ar vagy N2 atmoszférában) porlasztásra használható. | |
Óvintézkedések | 1. A kamranyomás nem haladhatja meg a 0,02 MPa-t (relatív nyomás). 2. A gázpalackban uralkodó magas nyomás miatt nyomáscsökkentő szelepet kell beszerelni, amikor a gázt a kvarccsőbe vezetik. A biztonság érdekében 0,02 MPa alatti nyomáson javasoljuk az üzemeltetést. A nagyobb pontosság és biztonság érdekében javasoljuk, hogy cégünktől vásároljon nyomáscsökkentő szelepet, amelynek tartománya 0,01 MPa-0,1 MPa. 3. Nem javasoljuk gyúlékony, robbanásveszélyes vagy mérgező gázok használatát. Ha az Ön folyamata gyúlékony, robbanásveszélyes vagy mérgező gázok használatát igényli, kérjük, tegyen meg megfelelő védő- és robbanásbiztos intézkedéseket. Cégünk nem vállal felelősséget a gyúlékony, robbanásveszélyes vagy mérgező gázok használatából eredő problémákért. | |
Megfelelőség | CE, UL vagy CSA minősítés felár ellenében elérhető. |
Rólunk:
Ugyanakkor termékpalettánk a laboratóriumi berendezések számos területét lefedi, mint például a vágó- és kockázófűrészek, csiszoló- és polírozógépek, olvasztórendszerek, laboratóriumi sütők stb. Különböző kutatási irányaihoz megfelelő berendezésekkel rendelkezünk, amelyek segítik projektjét, és javítják a projekt tényleges teljesítményét és pontosságát.
Emellett személyre szabott szolgáltatásokat is kínálunk. Az egyes kísérletekben előforduló változók miatt további terveket vagy ajánlásokat tudunk készíteni az Ön helyzetére vonatkozóan. Kérjük, a részletekért forduljon csapatunkhoz.