Belső oldal

3 célpontú plazmaporlasztó gép

1. Ez a 3 forgócélú plazmaporlasztásos bevonatoló kompakt kialakítású, így helyet takarít meg a laboratóriumban, és lehetővé teszi az asztalon való elhelyezését.
2. Ez a 33 forgó célpontos plazmaporlasztásos bevonatoló PLC vezérlőpanellel rendelkezik, így a kezelés kényelmesebb és intuitívabb, csökkentve a kísérleti hibákat.
3. 3 forgó célpontos plazma porlasztásos bevonatoló berendezésünket több éves tapasztalattal fejlesztettük ki, teljes mértékben kielégítve az ügyfelek igényeit és kiváló eredményeket biztosítva.

  • Shenyang Kejing
  • Senjang, Kína
  • 10 munkanap
  • 50 szett
  • információ

A plazma porlasztásos bevonógép bemutatása:

A VTC-16-3HD 3 célpontos plazma porlasztó berendezés egy kompakt, CE-tanúsítvánnyal rendelkező plazma vékonyréteg-porlasztó rendszer, amely képes legfeljebb 2 hüvelyk átmérőjű hordozók bevonására. A 3 célpontos plazma porlasztó berendezés érintőképernyős kezelőpanellel rendelkezik, és három különböző célpontanyagot képes porlasztani. Vékony filmek esetén a porlasztási idő lerövidíthető; vastagabb filmek esetén növelhető. A VTC-16-D 3 célpontos plazma porlasztó berendezést elsősorban vékony fémfilmek előállítására tervezték, legfeljebb 4 hüvelykes gyártási területtel. Kompakt mérete és magas költséghatékonysága ideális bevonórendszerré teszi különféle fém vékonyrétegekhez.

3 Rotary Target Plasma Sputtering Coater

A plazma porlasztásos bevonógép főbb jellemzői:

1. A 3 célpontos plazma porlasztó berendezés PLC vezérlőpanellel, 4,3 hüvelykes érintőképernyővel és PID hőmérséklet-szabályozással van felszerelve. 

2. A plazma porlasztásos bevonógép szabályozható paraméterei közé tartozik a vákuumszint, az áram, a célpozíció és az aljzat melegítési hőmérséklete.

3. A plazma porlasztásos bevonatoló gép vákuumszivattyúval és KFD25 rozsdamentes acél harmonika gyorskioldó bilincsekkel használható.

4. A plazma porlasztásos bevonógép CE tanúsítvánnyal rendelkezik.


A plazma porlasztásos bevonógép műszaki paraméterei:

Termék neveVTC-16-3HD 3 célpontos plazma porlasztó berendezés
ModellVTC-16-3HD 3
Fő paraméterek

1. 3 forgó célplazma porlasztásos bevonatoló bemeneti teljesítménye: AC 220V 50/60Hz

2. 3 forgó célplazma porlasztásos bevonatoló porlasztási árama: 0-40mA, állítható

3. Teljesítmény: <1kW

4. Kimeneti feszültség: Maximum 1680V DC

Porlasztókamra

1. Anyag: Kvarckamra

2. Méretek: Külső átmérő 166 mm × belső átmérő 150 mm × 150 mm

3. Tömítés: O-gyűrűs tömítés

4. A céltárgy előporlasztására egy kézzel működtethető terelőlemezt szerelnek a peremfedélre. Egy φ 6,35 mm-es kompressziós csatlakozó szolgál levegőbemeneti nyílásként a bemeneti csőhöz való csatlakozáshoz. Egy kézi légtelenítő szeleppel juttatják be a levegőt a kvarckamrába.

5. Egy rozsdamentes acél háló fedi a teljes kvarckamrát a plazma védelme érdekében.

plasma sputtering coating machine

6. A kvarckamrába belépő munkagáz áramlási sebességét a ház jobb oldalán található mikroprecíziós szabályozószelep szabályozza, ezáltal beállítva a kamrán belüli vákuumszintet.

7. A porlasztási áramot a ház jobb oldalán található potenciométer beállításával lehet szabályozni.

3-target plasma sputtering equipment3 Rotary Target Plasma Sputtering Coater

Cél

1. Három rézcélpont tartozik hozzá.

2. Céltárgy méretei: φ47 x (0,1-3) mm vastag.

3. Egyéb fémcéltáblák is megvásárolhatók cégünktől; kérjük, vegye fel a kapcsolatot értékesítési osztályunkkal a részletekért.

4. Egy kézi működtetésű terelőlemezt szerelnek fel a céltárgy előporlasztására.

Mintavételi szakasz

1. Egy 50 mm-es forgatható mintaasztal, amelynek a tartóoszlopán csavarok vannak a mintaasztal magasságának beállításához.

2. Mintaasztal elforgatási szöge: 0/120/240 fok.

3. A céltárgy és a mintaasztal közötti távolság 20 és 70 mm között állítható.

4. A mintaasztal opcionálisan fűthető, maximum 500°C hőmérsékletre.

plasma sputtering coating machine
Vezérlőpult

Egy 1,4 hüvelykes, integrált érintőképernyős PLC vezérlőpanel vezérli a vákuumot, az áramerősséget és a minta porlasztási idejét.

2. Az adatnaplózó funkció rögzíti a folyamatparamétereket, például a vákuumot, az áramerősséget és a porlasztási időt minden porlasztási futtatásnál, így az ügyfelek könnyen hozzáférhetnek az adatokhoz.

3-target plasma sputtering equipment
Vákuumrendszer (opcionális)

1. Modell: VRD-8

2. Szivattyúzási sebesség: 2,2 l/s

3. Motorteljesítmény: 370 W

4. Határnyomás: 5 × 10⁻¹ Pa (terheletlenül).

5. Tényleges nyomás: ≤ 5 Pa (20 perc mechanikus pumpálás hideg körülmények között).

3 Rotary Target Plasma Sputtering Coater

6. Ha magasabb vákuumfokozatot szeretne elérni (10-5 toor vagy jobb), választhat hazai vagy importált nagyvákuumú egységek vásárlását.

plasma sputtering coating machine

Specifikációk

Méretek: 460 mm × 400 mm × 500 mm (H × Sz × M)

Súly: Körülbelül 20 kg

3-target plasma sputtering equipment
Utasítás

1. A kívánt filmvastagság eléréséhez több porlasztási ciklus szükséges.

2. Porlasztás előtt győződjön meg arról, hogy a porlasztófej, a céltárgy, a minta és a mintaasztal tiszta.

3. A fólia és az aljzat közötti jó kötés biztosítása érdekében a porlasztás előtt tisztítsa meg az aljzat felületét. Tisztítóberendezéseink erre a célra használhatók.

4. Ez a berendezés kesztyűtartóban (Ar vagy N2 atmoszférában) porlasztásra használható.

Óvintézkedések

1. A kamranyomás nem haladhatja meg a 0,02 MPa-t (relatív nyomás).

2. A gázpalackban uralkodó magas nyomás miatt nyomáscsökkentő szelepet kell beszerelni, amikor a gázt a kvarccsőbe vezetik. A biztonság érdekében 0,02 MPa alatti nyomáson javasoljuk az üzemeltetést. A nagyobb pontosság és biztonság érdekében javasoljuk, hogy cégünktől vásároljon nyomáscsökkentő szelepet, amelynek tartománya 0,01 MPa-0,1 MPa.

3. Nem javasoljuk gyúlékony, robbanásveszélyes vagy mérgező gázok használatát. Ha az Ön folyamata gyúlékony, robbanásveszélyes vagy mérgező gázok használatát igényli, kérjük, tegyen meg megfelelő védő- és robbanásbiztos intézkedéseket. Cégünk nem vállal felelősséget a gyúlékony, robbanásveszélyes vagy mérgező gázok használatából eredő problémákért.

MegfelelőségCE, UL vagy CSA minősítés felár ellenében elérhető.


Rólunk:

Ugyanakkor termékpalettánk a laboratóriumi berendezések számos területét lefedi, mint például a vágó- és kockázófűrészek, csiszoló- és polírozógépek, olvasztórendszerek, laboratóriumi sütők stb. Különböző kutatási irányaihoz megfelelő berendezésekkel rendelkezünk, amelyek segítik projektjét, és javítják a projekt tényleges teljesítményét és pontosságát.


Emellett személyre szabott szolgáltatásokat is kínálunk. Az egyes kísérletekben előforduló változók miatt további terveket vagy ajánlásokat tudunk készíteni az Ön helyzetére vonatkozóan. Kérjük, a részletekért forduljon csapatunkhoz.


3 Rotary Target Plasma Sputtering Coater

Szerezd meg a legújabb árat? A lehető leghamarabb válaszolunk (12 órán belül)
This field is required
This field is required
Required and valid email address
This field is required
This field is required
For a better browsing experience, we recommend that you use Chrome, Firefox, Safari and Edge browsers.