Nagysebességű centrifugális bevonatoló gép 100°C-os fűtőfedéllel
A VTC-100PA-I vákuumos centrifugális bevonóberendezés alkalmas félvezető eljárásokhoz, kristályok, optikai lemezek, lemezek gyártásához és felületbevonatokhoz stb. Használható erős savas és erős lúgos bevonóoldatok készítéséhez. A berendezés két, a minta méretének megfelelően különböző méretű vákuumos tokmánnyal van felszerelve. A berendezés 12 programkészletet képes tárolni, és minden készlet 6 futtatási szakaszt tartalmaz.
- Shenyang Kejing
- Senjang, Kína
- 10 munkanap
- 50 szett
- információ
Termékbemutató
A VTC-100PA-I vákuumos centrifugális bevonatoló berendezés félvezetők, kristályok, optikai lemezek és fotolitográfia felületbevonatolási folyamataihoz készült. Alkalmas bevonatok előállítására erős savas vagy lúgos oldatokkal. A rendszer alapfelszereltségként két különböző méretű vákuumtokmánnyal rendelkezik, így a felhasználók a minta méretei alapján választhatják ki a megfelelő tokmányt.
Működés közben a mintát vákuumtokmány segítségével biztonságosan rögzítik a mintaasztalhoz. A VTC-100PA-I akár 12 programot is képes tárolni, amelyek mindegyike 6 egymást követő lépésből áll. A forgási sebesség a különböző szakaszokban változik, lehetővé téve a készülék számára, hogy fokozatosan elérje a maximális sebességét. Ez biztosítja az egyenletes vékonyréteg-képződést a minta felületén, minimalizálja az anyagpazarlást és javítja a hatékonyságot.
A VTC-100PA-I egyszerű kezelhetőséggel, könnyű tisztítással és kompakt kialakítással rendelkezik. Széles körben alkalmazzák egyetemi és kutatóintézeti laboratóriumokban vékonyréteg-leválasztási eljárásokhoz.
Főbb jellemzők
1. A mintát vákuumadszorpcióval rögzítik, ami könnyen kezelhető.
2. A vákuum mértéke elérheti a -0,08 MPa-t.
3. A minták könnyen középre igazíthatók a pozicionáló eszköz segítségével, így csökkentve a rezgést vagy a rossz illesztésből adódó kipattanásokat.
4. Különböző tokmányok használhatók a minta specifikációi szerint, és a csere kényelmes és egyszerű.
5. 24 V-os kefe nélküli egyenáramú motort alkalmaznak, amelynek előnyei a nagy megbízhatóság, az erős alkalmazkodóképesség, az egyszerű javítás és karbantartás, az alacsony zajszint, a kis rezgés, a stabil működés, a gyors és stabil indítás, a stabil működés gyorsítás után, a bevonat vastagságának állandóságának és egyenletességének biztosítása érdekében.
6. Az olajmentes párhuzamos rudas vákuumszivattyú előnyei a kis méret, az egyszerű szerkezet, a könnyű kezelhetőség, a kényelmes karbantartás és a környezetszennyezés hiánya.
7. A kamra polipropilén anyagból készült, hosszabb élettartammal, hogy javítsa a kémiai korrózióval szembeni ellenállást és a kiváló feszültségrepedés-állóságot, a gép teste pedig öntött alumínium szerkezetet alkalmaz, amely tartós és könnyű.
8. A bevonatolás inert gázatmoszférában (például Ar, N2) végezhető.
9. Angol operációs rendszer
10. Felnyitott fedél elleni védelem funkcióval rendelkezik. Amikor a felső fedelet a bevonatolási folyamat során vagy a bevonatolás végén kinyitják, a gép azonnal gyorsan lassít, amíg meg nem áll.
11. A vezérlőfelület érintőképernyőt és egykártyás számítógépes vezérlőrendszert alkalmaz, a numerikus kijelző pedig intuitívabb és megbízhatóbb.
TMűszaki paraméterek
Termék neve | VTC-100PA-I vákuumos centrifugális bevonatoló | |
Termékmodell | VTC-100PA-I | |
Telepítési feltételek | 1. Hőmérséklet és páratartalom: 10–85% relatív páratartalom (25°C-on, nem lecsapódó); Üzemi hőmérséklet: 0–45°C. 2. Környezet: Mentes az erős rezgésforrásoktól és a korrozív gázoktól. 3. Víz: Vízelvezető nyílással felszerelve. 4. Tápegység: Egyfázisú AC 220V 50Hz, kínai szabványú háromtűs aljzat, 10A, megfelelő földeléssel. 5. Gáz: Vákuum (negatív nyomás) ≥70 L/perc szivattyúzási sebességgel; a rendszer védő inert gázokhoz (pl. Ar, N₂) is csatlakoztatható. 6. Munkapad: Ajánlott méret 800 mm × 600 mm × 700 mm, teherbírás ≥50 kg (tömör betonasztal ajánlott). 7. Szellőzés: Nincsenek különleges követelmények. | |
Fő paraméterek (Specifikáció) | 1. Tápegység interfész: · Főegység：AC220V 50Hz 10A · Fűtés：AC220V 50Hz 10A 2. Teljes energiafogyasztás: ≤1150W (külső vákuumszivattyú nélkül) 3. Bevonókamra (anyag): Polipropilén 4. Mintatartó (vákuumtokmány): PTFE vákuumtokmányok, Ø19 mm és Ø60 mm (egyenként egy) 5. Működési mód: Akár 12 programozható recept; minden recept 6 egymást követő szakaszt tartalmaz 6. Centrifugálási sebességtartomány: 500–10 000 fordulat/perc (effektív) 7. Gyorsítási/lassítási sebesség: Fokozatonként 100 fordulat/perc és 2000 fordulat/perc között állítható 8. Bevonatolási idő: 0–60 másodperc szakaszonként 9. Sebességstabilitás: ±1% 10. Vezérlőrendszer: NYÁK mikrovezérlő billentyűzettel és LMC LCD kijelzővel 11. Fűtési módszer: Független szénszálas fűtőcsőrendszer (a fő egység vezérlésétől elkülönítve) 12. Fűtési hőmérséklet tartomány: Szobahőmérséklettől 100°C-ig 13. Fűtőteljesítmény: AC220V, 1000W 14. Hőmérséklet-szabályozási pontosság: ±2°C | |
15. Termékleírás： · Méret: 450 mm × 340 mm × 280 mm · Súly: 20 kg |
| |
Sstandard kiegészítők
Nem. | név | mennyiség | kép |
1 | Vákuumtokmány (O-gyűrűvel együtt) (19 mm-es Ø ésØ60 mm) | 2 db |
|
2 | Központi pozicionáló/lokátor (4 pozicionáló csappal) | 1 db | - |
3 | Epoxi injektor/fecskendő (20ml) | 1 db | |
4 | Injektor/fecskendő tartó | 1 db | |
5 | Olajmentes vákuumszivattyú | 1 db |
|
6 | Gumicső (bilinccsel együtt) | 1 db | - |
Aopcionális kiegészítők
Nem. | név | funkcionális típus | kép |
1 | Egyéb specifikációkú vákuumtokmányok | (választható) | |
2 | Pipetta (Kínában készült) | (választható) | |
3 | Pipetta (importált) | (választható) |
|
Garancia
Egy év korlátozott élettartamra szóló támogatással (a nem megfelelő tárolási körülmények miatt rozsdásodott alkatrészek kivételével)
Logisztika
