Nagysebességű forgó bevonatoló gép (10 ezer fordulat/perc és max. 5") UV-bevonattal
A VTC-100PA-UV UV bevonóberendezés alkalmas félvezető eljárásokhoz, kristályok, optikai lemezek, lemezek gyártásához és felületbevonatok készítéséhez stb. A felső fedél UV fényforrással van ellátva, és különösen alkalmas UV fényre érzékeny anyagokhoz, amelyek gyorsan megszilárdítják a bevont filmet. Ezenkívül az UV lámpa polimerizációs funkcióval is rendelkezik, amely a monomert polimer filmmé polimerizálja.
- Shenyang Kejing
- Senjang, Kína
- 10 munkanap
- 50 szett
- információ
Termékbemutató
A VTC-100PA-UV spin coater (más néven fotoreziszt bevonó, spin coater vagy spin coater rendszer) olyan folyamatokhoz készült, mint a félvezetőgyártás, kristályok, optikai lemezek, litográfia és felületbevonatolás.
A kamra polipropilénből készült, kiváló korrózióállóságot és hosszú élettartamot biztosít, és alkalmas erős savas és erős lúgos oldatokat tartalmazó bevonási alkalmazásokhoz. A felső fedél UV-lámpás besugárzási funkcióval van felszerelve, így különösen alkalmas UV-érzékeny rezisztekhez. Lehetővé teszi a bevont rezisztek gyors kikeményedését, valamint támogatja a polimerizációt, a monomereket polimer filmekké alakítva.
A felső fedél közepén egy folyadékbefecskendező nyílás található, amely dugóval van ellátva; ha lezárt kamrai környezetre van szükség, a dugót be kell helyezni. A kamra gázbevezető nyílással is rendelkezik, amely lehetővé teszi a védőgáz bevezetését a centrifugális bevonatolási folyamat során.
A mintákat vákuumadszorpcióval rögzítik, ami biztosítja a könnyű kezelhetőséget és a kényelmes be- és kivételt. A dedikált központosító eszközzel a minták pontosan a tokmány közepére helyezhetők, csökkentve az excentrikus rezgést és megakadályozva az ostya törését. A minta méretétől függően különböző tokmányok választhatók, a csere pedig egyszerű és kényelmes.
A rendszert egy precíziós, kefe nélküli egyenáramú motor hajtja, amely gyors indítást, stabil sebességet és a bevonat vastagságának egyenletességét biztosítja.
Főbb jellemzők
1. A mintát vákuumadszorpcióval rögzítik, amely könnyen kezelhető és kényelmes a minták vétele és elhelyezése, amelyek szükség szerint testreszabhatók.
2. A felső burkolat UV fényforrást használ, amelynek erőssége egy bizonyos tartományon belül állítható.
3. A befecskendező furat a felső fedél közepén található, és gumidugóval van ellátva, amelyet akkor kell felhelyezni, ha a kamrában zárt környezetre van szükség.
4. A kamrában található gázbevezető nyílás a védőgázhoz való csatlakozásra szolgál.
5. A motor és az UV-fény vezérlő része egymástól függetlenül vezérelhető. A motor fordulatszám-szabályozó rendszerét egyetlen panelből álló számítógép és egy LCD-képernyő vezérli, a numerikus kijelző intuitívabb és megbízhatóbb. Az UV-fényt egy erős interferencia-védelemmel ellátott PLC vezérlő vezérli.
6. A gép bevonási sebessége 500–1000 fordulat/perc. 12 programcsoport tárolható, minden programcsoport 6 működési szakaszt tartalmaz, és az egyes szakaszok működési paraméterei egymástól függetlenül beállíthatók, hogy a sebesség lassan növekedjen a határértékig, ami elősegíti az egyenletes film kialakulását a minta felületén, és nem okoz túl nagy pazarlást.
7. Az UV vákuumos centrifugális bevonatoló gyorsan indul és stabil forgási sebességgel rendelkezik, ami biztosítja a filmvastagság egyenletességét és állandóságát.
8. A beépítési szerkezetben lengéscsillapító intézkedéseket tesznek a működés közbeni zaj csökkentése érdekében.
9. A kamra PP anyagból készült, hosszabb élettartammal, hogy javítsa a kémiai korrózióval szembeni ellenállást és a kiváló feszültségrepedés-állóságot, a gép teste pedig öntött alumínium szerkezetet alkalmaz, amely tartós és könnyű.
TMűszaki paraméterek
Termék neve | VTC-100PA-UV UV centrifugális bevonatoló | |
Termékmodell | VTC-100PA-UV | |
Telepítési feltételek | 1. Hőmérséklet és páratartalom: 10-85% relatív páratartalom (25 ℃-on, páralecsapódás nélkül) Hőmérséklet: 0-45 ℃. 2. A berendezés körül nincs erős rezgésforrás és korrozív gáz. 3. Víz: Nem szükséges. 4. Elektromosság: Egyfázisú: AC220V 50Hz 10A. 5. Gáz: Negatív nyomású vákuum (vákuumszivattyú). A levegő áramlási sebessége nem kevesebb, mint 70 l/perc (a berendezés védő inert gázt tud átengedni). 6. Munkapad: Ajánlott méret 800 mm × 600 mmmm×700 mm és 50 kg-nál nagyobb terhelést bír el (a tömör cement platform jobb). 7. Szellőztetőberendezés: Nincsenek különleges követelmények. | |
| A fő paraméterek | 1. Tápegység csatlakozója: Biztosított hálózati aljzat: AC220V 50Hz, a biztosítócső specifikációja 10A, φ5×20mm (ez az eszköz támogatja az AC110V 50/60Hz termék testreszabását). 2. Teljes teljesítmény: ≤180 W (külső vákuumszivattyú nélkül). 3. Bevonó befogadóüreg (anyag): polipropilén. 4. Mintatartó tálca (tapadókorong): polipropilén tapadókorong, Φ19mm, Φ60mm egyenként. 5. Működési mód: 12 programkészlet tárolható, minden programkészlet 6 működési szakaszt tartalmaz. 6. Bevonatolási sebesség: 500 fordulat/perc és 10000 fordulat/perc között hatékony. 7. Gyorsítási és lassítási sebesség: Az egyes gyorsítási és lassítási sebességek beállítási tartománya 100 ford/perc —2000 ford/perc. 8. Bevonatolási idő: Minden időtartomány: 0-60 másodperc. 9. Sebességstabilitás: ±1%. 10. Gazdagép-vezérlési mód: NYÁK-os egychipes mikrokomputeres kulcsvezérlő LMC LCD kijelző. 11. Kikeményedési módszer: 16 LED lila fénygyöngy. 12. Kötési idő: lila fény időbeállítási tartomány: 1-800 s. 13. Kötési teljesítmény: lila fény teljesítménytartománya: 5-30 W állítható. 14. Keményedési vezérlési módszer: érintőképernyő (a lila fényrendszer független vezérlése, nem kapcsolódik a gazdavezérléshez). | |
Méretek: 450×280×340 mm Súly: 18 kg |
| |
Standard tartozékok
| Nem. | Név | Mennyiség | Kép linkje |
| 1 | Vákuum tapadókorong (O-gyűrűvel) (Ø19 mm és Ø60 mm) | 2 |   |
| 2 | Központkereső | 1 |  |
| 3 | Olajmentes vákuumszivattyú | 1 |  |
Opcionális tartozékok
| Nem. | Név | Funkcionális kategória | Kép linkje |
| 1 | Egyéb méretű vákuumcsészék | (Választható) |  |
| 2 | Háztartási pipettapisztoly | (Választható) |  |
| 3 | Importált pipetta | (Választható) |  |
Garancia
Egy év korlátozott élettartamra szóló támogatással (a nem megfelelő tárolási körülmények miatt rozsdásodott alkatrészek kivételével)
Logisztika
