Spin Coater alkalmazása félvezető fotolitográfiai eljárásban

Gyantamentesítés: A VTC-200-4P szórópásztázó bevonatoló berendezés nedves gyantamentesítési eljárással történő alkalmazása során szerves oldószert csepegtetnek a minta felületén lévő fotoreziszt filmre, így a fotoreziszt film feloldódik és eltávolításra kerül, tiszta mintát hagyva maga után. A bevonáshoz rendelkezésre álló bevonóberendezések közé tartozik a VTC-100PA vákuumos forgó bevonatoló berendezés, a VTC-100PA-Ⅰ felső fedélfűtéses vákuumos forgó bevonatoló berendezés, a VTC-100 vákuumos forgó bevonatoló berendezés, a VTC-200 vákuumos forgó bevonatoló berendezés, a VTC-200PV vákuumos forgó bevonatoló gép, a VTC-200-4P szórópásztázó forgó bevonatoló gép és a VTC-100PA-UV ultraibolya forgó bevonatoló berendezés. Az adott folyamattól függően különböző forgó bevonatoló berendezések használhatók.

2025/06/16

OLVASS TOVáBB

Szerezd meg a legújabb árat? A lehető leghamarabb válaszolunk (12 órán belül）

név: This field is required

telefon: This field is required

*e - mail: Required and valid email address

a társaság: This field is required

*levelet: This field is required

Adatvédelmi irányelvek

hírek