- otthon
- >
hírek
A modern anyagtudomány, a félvezetőgyártás és az optikai mérnöki tudományok területén a rendkívül egyenletes, hibamentes vékonyrétegek előállítása kritikus szakaszt jelent a teljes K+F és gyártási munkafolyamatban. A VTC-100PAD vákuumfűtő centrifugális bevonóberendezés átfogó, hatékony és nagy pontosságú megoldást kínál a legmodernebb kutatások szigorú követelményeinek – különösen a filmképző környezetek, a kristályosodási hőmérsékletek és az oldatkompatibilitás tekintetében – való megfelelés érdekében.
Gyantamentesítés: A VTC-200-4P szórópásztázó bevonatoló berendezés nedves gyantamentesítési eljárással történő alkalmazása során szerves oldószert csepegtetnek a minta felületén lévő fotoreziszt filmre, így a fotoreziszt film feloldódik és eltávolításra kerül, tiszta mintát hagyva maga után. A bevonáshoz rendelkezésre álló bevonóberendezések közé tartozik a VTC-100PA vákuumos forgó bevonatoló berendezés, a VTC-100PA-Ⅰ felső fedélfűtéses vákuumos forgó bevonatoló berendezés, a VTC-100 vákuumos forgó bevonatoló berendezés, a VTC-200 vákuumos forgó bevonatoló berendezés, a VTC-200PV vákuumos forgó bevonatoló gép, a VTC-200-4P szórópásztázó forgó bevonatoló gép és a VTC-100PA-UV ultraibolya forgó bevonatoló berendezés. Az adott folyamattól függően különböző forgó bevonatoló berendezések használhatók.