Nagyvákuumú magnetron porlasztásos bevonóberendezés

Laboratóriumi bevonóberendezések bemutatása:

A VTC-800G egy általunk függetlenül fejlesztett, kisméretű magnetron porlasztásos bevonóberendezés. A kisméretű bevonóberendezéseket széles körben használják egy- vagy többrétegű ferroelektromos filmek, vezetőképes filmek, ötvözetfilmek, félvezető filmek, kerámia filmek, dielektromos filmek, optikai filmek, oxidfilmek, kemény filmek és politetrafluoretilén filmek előállítására.

A kis bevonóberendezések felszerelhetők többcélú pisztolyrendszerrel, amely támogatja a nem vezetőképes anyagok rádiófrekvenciás teljesítményű porlasztását és a vezetőképes anyagok egyenáramú teljesítményű porlasztását a különféle folyamatkövetelmények kielégítése érdekében.

A hasonló berendezésekhez képest a VTC-800G Small bevonóberendezés kis méretű, könnyen kezelhető és rugalmasan alkalmazható. Ideális választás funkcionális vékonyréteg-anyagok laboratóriumi előállításához, különösen alkalmas új anyagok, például szilárd elektrolitok és OLED-ek kutatására és fejlesztésére.

A precíziós bevonatoló berendezések főbb jellemzői:

1. A kis bevonóberendezések több célpisztollyal is felszerelhetők, amelyek RF és DC tápegységeket támogatnak, és amelyeket nem vezetőképes, illetve vezetőképes célanyagok porlasztásos bevonására használnak, és a célpisztollyalokat szükség szerint rugalmasan lehet cserélni;

2. A precíziós bevonóberendezések kompatibilisek különféle funkcionális filmek előállításával, és széles körű alkalmazási lehetőségekkel rendelkeznek;

3. A precíziós bevonóberendezések kis méretűek, kompakt felépítésűek, könnyen kezelhetők és alkalmasak különféle laboratóriumi környezetekre;

4. A precíziós bevonóberendezések moduláris felépítésűek, a vákuumkamra, a szivattyúcsoport és a teljesítményszabályozó rendszer elkülönül, és rugalmasan kombinálható a tényleges igényeknek megfelelően;

5. A laboratóriumi bevonóberendezések többféle teljesítményszabályozási módszert támogatnak: egyetlen tápegység több célpisztolyt vezérel, vagy több tápegység egymástól függetlenül vezérli a célpisztolyokat a különböző folyamatkövetelmények teljesítése érdekében.

A precíziós bevonóberendezések műszaki paraméterei:

Termék neve	Magnetron porlasztásos bevonóberendezés
Termékmodell	VTC-800G
Fő paraméterek	1. Kamra szerkezete: hengeres felső fedél kialakítás, hátsó kipufogórendszer. 2. Végső vákuum: 6,0 × 10⁻⁶ Pa. 3. Vákuumszivárgási sebesség: ≤0,5 Pa 1 órán belül. 4. Elszívási idő: körülbelül 30 perc atmoszférikus nyomásról 5,0×10-3 Pa nyomásra. 5. Vákuumszivattyú csoport konfigurációja: mechanikus szivattyú + molekuláris szivattyú. 6. Minta színpad paraméterei: · Méret: Ø205 · Hőmérséklettartomány: szobahőmérséklet ~ 500 ℃, pontosság ±1 ℃ · Forgási sebesség: 5~20 fordulat/perc (állítható). 7. Eltolás funkció: opcionális (a filmminőség javítására szolgál). 8. Gáztöltő rendszer: kétcsatornás tömegárammérő (argon/nitrogén mindegyik) 9. Célpontfej szöge: a célpontfej és a mintaasztal középtengelye közötti szög 34°. 10. Célfejek száma: alapfelszereltségként 2 (opcióként 4-re bővíthető). 11. Célfegyver hűtési módja: vízhűtés 12. Célanyag specifikációi: átmérő Ø3″, vastagság 0,1~5mm (a célanyagtól függően)
	13. A magnetron porlasztásos bevonóberendezés specifikációi: · Teljes méret: 700 mm × 1093 mm × 1380 mm

Rólunk:

Cégünk évek óta mélyen érintett a filmgyártás területén, és kiváló tapasztalattal rendelkezik. Ugyanakkor számos, különböző anyagokhoz alkalmas berendezéssel rendelkezünk, hogy kielégítsük az Ön változatos igényeit. Segítünk a berendezések hatásának tesztelésében is. Mintákat tud biztosítani, és mi elkészítjük azokat, hogy intuitívabban láthassa termékeink hatását. Ha elégedett termékeinkkel, megvásárolhatja azokat, és gördülékenyebben végezheti munkáját.