Nagyvákuumú magnetronos porlasztásos bevonatoló
1. Az egyfejes porlasztóbevonatoló végső vákuuma elérheti a 8,0X10-5Pa értéket.
2. Az egyfejes porlasztóbevonatoló berendezés 1 párologtató fűtőcsónakkal, 2 nyalábforrású kemencével (1 nyalábforrású kemence az alapfelszereltség), 1 áramlásmérő készlettel (egy argongáz készlet) és φ150 üveg megfigyelőablakkal van felszerelve.
3. Miután megkapta az egyfejes porlasztóbevonatolót, átfogó értékesítés utáni szolgáltatásokat is nyújtunk, például távoli útmutatást.
- Shenyang Kejing
- Senjang, Kína
- 10 munkanap
- 50 szett
- információ
Nagyvákuumú magnetronos porlasztásos bevonatoló berendezés bemutatása:
A VTC-1HD-ZF2 nagyvákuumú magnetron porlasztó bevonó egy multifunkcionális nagyvákuumú bevonó berendezés, amely egyetlen célpontú magnetron porlasztó műszert is tartalmaz. A nagyvákuumú magnetron porlasztó bevonó egy- vagy többrétegű ferroelektromos filmek, vezetőképes filmek, ötvözet filmek, félvezető filmek, kerámia filmek, dielektromos filmek, optikai filmek, oxid filmek, kemény filmek, politetrafluoretilén filmek stb. előállítására használható.
A magnetron plazma porlasztásos bevonatoló berendezés előnyei:
1. A magnetron plazma porlasztó bevonatoló berendezés gőzleválasztásos fűtőcsónakkal van felszerelve, amely különösen alkalmas oxigénre érzékeny fémrétegek (például Ti, Al, Au stb.) gőzleválasztására. A magnetron plazma porlasztó bevonatoló berendezés fűtőcsónakja felett egy forgatható terelőlemez, 2 nyalábforrású kemenceállomás (1 nyalábforrású kemence az alapfelszereltség), 1 áramlásmérő készlet (egy argongáz készlet) φ150 üveg megfigyelőablakkal található.
2. A magnetron plazma porlasztásos bevonó alkalmazási területe: perovszkit anyagok, kétdimenziós anyagok, fotovoltaikus napelemek stb. berendezéskészítése.
3.3. Egyfejes porlasztóberendezés teljesítményfelvétele: AC220V/50Hz. Teljesítmény <3,5 kW.
A magnetron plazma porlasztásos bevonatoló műszaki paraméterei:
| Termék neve | VTC-1HD-ZF2 nagyvákuumú magnetronos porlasztásos bevonatoló | |
| Termékmodell | VTC-1HD-ZF2 | |
| Fő paraméterek | 1. Vákuumkamra: φ324 × 330 Végső vákuum 8.0×10-5Pa (molekuláris pumparendszer) Szivárgási arány: 2,0×10-10Pa.m3/s Anyaga 304-es rozsdamentes acél hegesztés, elektrokémiai felületpolírozás. Az aktív részt gumi tömítőgyűrű, az inaktív részt pedig réz tömítőgyűrű zárja le. Az erőátvitel mágneses tengelykapcsolót alkalmaz. A vákuumkamra mágneses vezérlőcélponttal, egy párologtató elektródakészlettel (kettővel) és 2 nyalábforrású kemencével rendelkezik (standard 1 nyalábforrású kemence). Egy áramlásmérő készlet (egy argongáz készlet) φ150 üveg megfigyelőablakkal és C35 karimás csatlakozóval van fenntartva. | |
2. Porlasztási célfej: 2 hüvelyk (φ50,8 mm) Üzemi vákuum: 10Pa~0.2Pa. Célanyag-kihasználási arány: >35% (standard 3 mm-es rézcél, célfelületi vákuum 0,5 Pa) MAX teljesítmény: <240W (teljesen hűtve) Szigetelési feszültség: > 2000V (1500W DC tápegységgel) | ||
3. Ellenálláspárolgás: Párologtatás kimeneti feszültsége: AC 0-8V, folyamatosan állítható. A párolgási áram határértéke 200A. Párolgási teljesítmény korlátozása <1,6 kW. A hőmérséklet nem kontrollálható és nem mérhető. | ||
4. Nyalókemence: Tégelykapacitás: 3CC. Melegítési hőmérséklet: szobahőmérséklettől 700°C-ig. A fűtési hőmérséklet mérhető, állítható és szabályozható. Hőmérséklet-szabályozási pontosság: ±0,5°C. Standard kvarctégely terelőlappal és hőelemmel. Tápegység: 500 W, 36 V. | ||
5. Mintavételi fokozat: φ120. Hőmérséklet-szabályozás: szobahőmérséklet - 500°C. Sebesség: 1-20 fordulat/perc. A mintaasztal manuálisan emelhető és süllyeszthető, maximum 50 mm-es állítható lökettel. | ||
6. EQ-TM106-1 filmvastagság-mérő. 1) Tápellátás: DC 5V (±10%), maximális áram 400mA. 2) Frekvenciafelbontás: ±0,03 Hz. 3) Filmvastagság felbontása: 0,0136 Å (alumínium). 4) Filmvastagság pontossága: ±0,5%, a folyamat körülményeitől függően, különösen az érzékelő pozíciójától, az anyagfeszültségtől, a hőmérséklettől és a sűrűségtől. 5) Mérési sebesség: 100 ms-1 s/idő, állítható. 6) Mérési tartomány: 500000 Å (alumínium). 7) Standard érzékelőkristály: 6MHz. 8) Számítógépes interfész: RS-232/485 soros interfész (1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 baud ráta beállítható, adatbit: 8, stopbit: 1, ellenőrzőbit: nincs) 9) Analóg kimenet: 8 bites felbontás, PWM impulzusszélesség-modulációs kimenet (nyitott kollektoros vagy belső 5 V-os kimenet) 10) Munkakörnyezet: hőmérséklet 0-50 ℃, páratartalom 5%-85% relatív páratartalom, kondenzáció nélkül. 11) Méretek: 90 mm × 50 mm × 18 mm. | ||
| 7. A berendezés alapfelszereltségként hűtővel (KJ5000 modell) van felszerelve. A vásárlóknak kell gondoskodniuk saját hűtőjükről és ioncserélt vagy tisztított vízről. | ||
| 8. A teljes gép teljesítményfelvétele: AC220V/50Hz. Teljesítmény <3,5KW. | ||
9. Termékleírás: Méret: kb. 1100 mm × 650 mm × 1100 mm. Súly: körülbelül 160 kg. |
| |
Rólunk:
Korszerű gyártóberendezésekkel és szigorú minőségirányítási rendszerrel rendelkezünk annak biztosítása érdekében, hogy minden termékünk megfeleljen a nemzetközi szabványoknak. Ezek közül az egyfejes porlasztásos bevonatolónk különösen alkalmas az oxigénre érzékeny fémfilmek elpárologtatására. Stabil teljesítményt nyújt, és széles körben használják az anyagkutatás területén. K+F csapatunk folyamatosan újít, ötvözve a piaci igényeket és az ügyfelek visszajelzéseit, hogy pontosabb és hatékonyabb megoldásokat kínáljon. Sok éves iparági tapasztalattal és műszaki felhalmozással nemcsak jó hírnevet szereztünk az iparágban, hanem számos ügyfél elismerését is elnyertük.
