Nagy vákuumú mágneses porlasztó bevonat
1. Az egyfejű porlasztó bevonat végső vákuuma elérheti a 8,0X10-5Pa-t.
2. Az egyfejű porlasztó bevonat 1 párologtató fűtő csónakkal, 2 sugárforrás kemenceállomással (1 sugárforrás kemence standard), 1 készlet áramlásmérővel (egy készlet argongáz) φ150-es üveg megfigyelő ablakkal van felszerelve.
3. Miután megkapta az egyfejes porlasztóbevonatot, átfogó értékesítés utáni szolgáltatásokat is nyújtunk, például távirányítást.
- Shenyang Kejing
- Shenyang, Kína
- 10 munkanap
- 50 készlet
- információ
A nagyvákuumú magnetron porlasztó bevonat bevezetése:
A VTC-1HD-ZF2 nagyvákuumú magnetron porlasztó bevonat egy többfunkciós nagyvákuumú bevonóberendezés, amely egyetlen célmagnetronos porlasztó műszert tartalmaz. A nagyvákuumú magnetron porlasztó bevonó egy- vagy többrétegű ferroelektromos fóliák, vezetőképes fóliák, ötvözött fóliák, félvezető fóliák, kerámia fóliák, dielektromos fóliák, optikai filmek, oxidfilmek, kemény fóliák, politetrafluoretilén fóliák stb. készítésére használható.
A magnetron plazmaporlasztó bevonat előnyei:
1. A Magnetron plazmaporlasztó bevonat gőzleválasztásos fűtőcsónakkal van felszerelve, amely különösen alkalmas oxigénre érzékeny fémfilmek (pl. Ti, Al, Au stb.) gőzleválasztására. A Magnetron plazmaporlasztó bevonat fűtőcsónakja felett forgatható terelőlap található, 2 sugárforrás kemenceállomás (1 sugárforrás kemence alapkivitelben). 1 készlet áramlásmérő (egy készlet argongáz) φ150-es üveg megfigyelőablakkal.
2. Magnetron plazmaporlasztó bevonat alkalmazási köre: perovszkit anyagok, kétdimenziós anyagok, fotovoltaikus napelemek stb.
3.3. Porlasztó bevonat egyfejes tápbemenettel: AC220V/50Hz. Teljesítmény <3,5 kW.
A magnetron plazmaporlasztó bevonat műszaki paraméterei:
| Termék neve | VTC-1HD-ZF2 nagyvákuumú mágneses porlasztó bevonat |
| Termékmodell | VTC-1HD-ZF2 |
| Fő paraméterek | 1. Vákuumkamra: φ324X330 Végső vákuum 8,0X10-5Pa (molekuláris pumpás rendszer) Szivárgási sebesség: 2,0x10-10Pa.m3/s Anyaga 304-es rozsdamentes acél hegesztés, elektrokémiai felületi polírozás. Az aktív rész gumi tömítőgyűrűvel, az inaktív rész pedig réz tömítőgyűrűvel van tömítve. Az erőátvitel mágneses csatolást alkalmaz. A vákuumkamrának van egy mágneses vezérlésű célpozíciója, egy párologtató elektróda készlete (kettő) és 2 sugárforrás kemence pozíciója (standard 1 sugárforrás kemence). Egy áramlásmérő készlet (egy készlet argongáz) φ150-es üveg megfigyelőablakkal és C35 karimás interfésszel van fenntartva. |
2. Porlasztó célfej: 2 hüvelyk (φ50,8 mm) Üzemi vákuum: 10Pa ~ 0,2Pa. Cél anyagfelhasználási arány: >35% (normál 3 mm-es réz célpont, célfelületi vákuum 0,5 Pa) Maximális teljesítmény: <240 W (teljesen hűtve) Szigetelési feszültség: >2000V (1500W DC tápegységgel) | |
3. Párolgási ellenállás: Párolgási kimeneti feszültség: AC 0-8V folyamatosan állítható. A párolgási áram határértéke 200A. A párolgási teljesítmény korlátozása <1,6 kW. A hőmérséklet szabályozhatatlan és mérhetetlen. | |
4. Sugárforrás kemence: Tégelykapacitás: 3CC. Fűtési hőmérséklet: szobahőmérséklet 800°C-ig. A fűtési hőmérséklet mérhető, beállítható és szabályozható. Hőmérsékletszabályozás pontossága: ±0,5°C. Kvarc tégely terelőlemezzel és hőelemmel, alapkivitelben. Tápellátás: 500W, 36V. | |
5. Mintaszakasz: φ120. Hőmérséklet szabályozás: szobahőmérséklet - 500°C. Sebesség: 1-20 ford. A mintaasztal kézzel emelhető és süllyeszthető, maximum 50mm állítható lökettel. | |
6. EQ-TM106-1 filmvastagság mérő. 1) Tápellátás: DC 5V (±10%), maximális áramerősség 400mA. 2) Frekvenciafelbontás: ±0,03 Hz. 3) Filmvastagság felbontás: 0,0136Å (alumínium). 4) Filmvastagság pontossága: ±0,5%, a folyamat körülményeitől, különösen az érzékelő helyzetétől, az anyagfeszültségtől, a hőmérséklettől és a sűrűségtől függően. 5) Mérési sebesség: 100ms-1s/time, állítható. 6) Mérési tartomány: 500000Å (alumínium). 7) Szabványos érzékelőkristály: 6 MHz. 8) Számítógép interfész: RS-232/485 soros interfész (1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 adatátviteli sebesség állítható be, adatbit: 8, stopbit: 1, ellenőrzés: nincs) 9) Analóg kimenet: 8 bites felbontás, PWM impulzusszélesség-modulációs kimenet (nyitott kollektor vagy belső 5 V-os kimenet) 10) Munkakörnyezet: hőmérséklet 0-50 ℃, páratartalom 5%-85% relatív páratartalom, nincs páralecsapódás. 11) Méretek: 90mm × 50mm × 18mm. | |
| 7. A berendezés alapkivitelben hűtővel van felszerelve (KJ5000 modell). Az ügyfelek kötelesek saját hűtőt és ionmentesített vizet vagy tisztított vizet biztosítani. | |
| 8. Az egész gép tápellátása: AC220V/50Hz. Teljesítmény <3,5 kW. | |
9. Termékleírások: Méret: kb 1300mm × 660mm × 1200mm. Súly: kb 160 kg. |
Rólunk:
Fejlett gyártóberendezésekkel és szigorú minőségirányítási rendszerrel rendelkezünk, hogy minden termék megfeleljen a nemzetközi szabványoknak. Közülük az egyfejes Sputtering bevonógépünk különösen alkalmas az oxigénre érzékeny fémfilmek elpárologtatására. Stabil teljesítményű, és széles körben használják az anyagkutatás területén. K+F csapatunk folytatja az innovációt, a piaci kereslet és a vásárlói visszajelzések kombinálásával pontosabb és hatékonyabb megoldásokat kínál. Sok éves ipari tapasztalatunkkal és műszaki felhalmozásunkkal nemcsak jó hírnevet szereztünk az iparágban, hanem számos vásárló magas elismerését is elnyertük.
