Belső oldal

EQ-TM106 filmvastagság-mérő

1. Ez a laboratóriumi bevonatvizsgáló műszer egy nagy pontosságú QCM filmvastagság-ellenőrző MBE, OLED és porlasztás vizsgálatához. Győződjön meg arról, hogy a bevonat vastagsága megfelel a kísérleti követelményeknek.
2. A berendezés valós idejű sebességszabályozással, 0,0136 Å felbontással és PC-s adatexporttal is rendelkezik.
3. A berendezéshez külön értékesítés előtti és utáni támogatás jár. Bármilyen berendezés meghibásodása vagy alkatrészkárosodás esetén kérjük, azonnal vegye fel velünk a kapcsolatot; egyéves garanciát biztosítunk (amely nem emberi eredetű problémákra vonatkozik).

  • Shenyang Kejing
  • Senjang, Kína
  • 10 munkanap
  • 50 szett
  • információ

A filmkészítési vastagságmérő bemutatása:

Az EQ-TM106 filmvastagság-monitor a kvarckristály oszcillációs elvét alkalmazza, fejlett frekvenciamérési technológiával kombinálva, a filmvastagság valós idejű, helyszíni monitorozására. Elsősorban vékonyréteg-leválasztási folyamatok során – például MBE, OLED termikus párologtatás és magnetron porlasztásos berendezések esetén – alkalmazzák a filmréteg vastagságának és a leválasztási sebesség folyamatos monitorozására.


A vékonyréteg valós idejű lerakódási sebessége alapján az EQ-TM106 monitor PWM (impulzusszélesség-moduláció) analóg kimeneti jelet generál. Dedikált vastagságérzékelőként működve külső vezérlőkkel és párologtató tápegységekkel integrálódik, lehetővé téve a párologtató forrás zárt hurkú sebességszabályozását, ezáltal megkönnyítve a lerakódott film vastagságának pontos mérését.


Az EQ-TM106 filmvastagság-mérő kompakt kialakításának köszönhetően helyet takarít meg a laboratóriumban; továbbá egyszerű működési elve és felhasználóbarát kezelőfelülete különösen alkalmassá teszi laboratóriumi méretű vékonyréteg-leválasztási alkalmazásokhoz.


Termék műszaki adatai:

Termék neveEQ-TM106 filmvastagság-mérő
TermékmodellEQ-TM106
Műszaki adatok

EQ-TM106-1 monitorozó modul

1. Tápegység: DC 5V (±10%), Max. áram 400mA

2. Frekvenciafelbontás: ±0,03 Hz

3. Fóliavastagság felbontása: 0,0136 Å (alumínium)

4. Fóliavastagság pontossága: ±0,5% (a folyamat körülményeitől, különösen az érzékelő helyzetétől, az anyagfeszültségtől, a hőmérséklettől és a sűrűségtől függ)

5. Mérési sebesség: 100 ms – 1 s mérésenként (konfigurálható)

6. Mérési tartomány: 500 000 Å (alumínium)

7. Standard érzékelőkristály: 6 MHz

8. Számítógépes interfész: RS-232/485 soros interfész (Konfigurálható baud sebességek: 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400; Adatbitek: 8; Stop bitek: 1; Paritás: Nincs)

9. Analóg kimenet: 8 bites felbontás, PWM (impulzusszélesség-moduláció) kimenet (nyitott kollektoros vagy belső 5 V-os kimenet)

10. Működési környezet: Hőmérséklet 0–50°C; Páratartalom 5–85% relatív páratartalom (nem lecsapódó)

11. Méretek: 90 mm × 50 mm × 18 mm

EQ-TM106-2 kijelzőegység

1. Bemeneti teljesítmény: AC 220V ±10%

2. Kimeneti teljesítmény: DC 5V 3A

3. Kijelző: 12×2 digitális cső és LED

4. Kommunikációs port: RS-485 (Választható átviteli sebességek: 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400; Adatbitek: 8; Stopbitek: 1; Paritás: Nincs)

5. Méretek: 182 mm × 65 mm × 160 mm

EQ-TM106-3 szonda

1. Kompatibilis kristályfrekvencia: 6MHz

2. Kompatibilis kristályméret: Ø14mm

3. Szerelőkarima: CF35

4. Hűtővízcsövek: Ø3mm; Hosszok: 300mm, 500mm, 1000mm

5. Hűtővíz nyomása: <0,3 MPa

6. Pneumatikus redőnycső: Ø3mm

7. Sűrített levegő nyomás: <0,8 MPa, >0,5 MPa

8. Sütési hőmérséklet: <200°C (vízáramlással); Karima <100°C (vízáramlás nélkül)

9. Elektromos interfész: BNC aljzat

Standard tartozékok1EQ-TM106-1 monitorozó modul1 egység
2EQ-TM106-2 kijelzőegység1 egység
3EQ-TM106-3 szonda1 egység

lab coating inspection instrument

A vékonyréteg-lerakódás-monitor főbb jellemzői:

1. Ez az egység számítógéphez csatlakoztatható.

2. A kijelzőegység letisztult, intuitív és jól szervezett felülettel rendelkezik, amely kényelmes és gyors kezelést biztosít. Valós idejű vizuális megjelenítést biztosít a működési paraméterekről, beleértve a mért filmvastagságot, a lerakódási sebességet, a frekvenciát és a PWM vezérlőkimenet százalékos értékét.

3. A felhasználók a szoftveren vagy a kijelzőegységen keresztül különféle beállításokat konfigurálhatnak – például a kapuidőt, a kimeneti módot, a sebességalgoritmust, az anyagparamétereket, a kimeneti tartományt és a kommunikációs paramétereket –, és a vonatkozó mért adatokat közvetlenül egy Excel-fájlba exportálhatják.

4. A készülék kompakt mérettel, nagy mérési pontossággal, egyszerű kezelhetőséggel és felhasználóbarát kényelemmel büszkélkedhet.


Miért válassza a Shenyang Kejinget? 

Precíziós anyagtudományi berendezésekbe való befektetéshez többre van szüksége, mint pusztán egy beszállítóra – egy megbízható technológiai partnerre is.


· Bizonyított szakértelem:Az iparág vezető automatizálási berendezésgyártójaként a Shenyang Kejing ipari minőségű K+F megoldásokat kínál, amelyekben világszerte laboratóriumok bíznak.

· Nyílt laboratóriumi élmény:Nem csupán berendezéseket árulunk; be is bizonyítjuk azok képességeit. Értékesítés előtti terméktapasztalatokat és műszaki képzést kínálunk dedikált Nyílt Laboratóriumunkban.

· Átfogó testreszabás:Szüksége van speciális módosításokra? Közös laboratóriumi együttműködéseket, projektpartnerségeket és testreszabott berendezések gyártását kínáljuk, hogy pontosan megfeleljünk az Ön tudományos igényeinek.

· Teljes körű támogatás:Az anyagfeldolgozási teszteléstől a szabadalmi kereskedelmi forgalomba hozatal támogatásáig, elkötelezett mérnöki csapatunk minden általunk gyártott termék mögött áll.


film thickness monitor

Szerezd meg a legújabb árat? A lehető leghamarabb válaszolunk (12 órán belül)
This field is required
This field is required
Required and valid email address
This field is required
This field is required
For a better browsing experience, we recommend that you use Chrome, Firefox, Safari and Edge browsers.