-
Szférikus pulzáló lézeres leválasztó rendszer
Ez a rendszer egy kutatási és fejlesztési berendezés gömbpulzusos lézeres leválasztási rendszerhez (PLD). Az impulzusos lézeres leválasztási technológiát széles körben használják, és különféle anyagok, például fémek, félvezetők, oxidok, nitridek, karbidok, boridok, szilicidek, szulfidok és fluoridok vékony filmjei készíthetők vele. Még néhány nehezen szintetizálható anyagfilm, például gyémánt és köbös nitrid filmek készítésére is használják.
Send Email Részletek
