Belső oldal

Mik azok a tényezők, amelyek befolyásolják a nagyvákuumú mágneses porlasztást?

2025-03-20 09:38

Az alapvető magnetronporlasztás alapján nagy vákuum és magas hőmérsékletű növekedési környezetet vezetnek be, és a plazmatechnológiát kombinálják a reaktív lerakódás reakcióhatékonyságának javítása érdekében, hogy megvalósítsák a magnetronos porlasztó film epitaxiáját. Az ilyen nagy vákuum alatt készített film jobb rácsorientációval és kiemelkedőbb kristálytulajdonságokkal rendelkezik. Alkalmazásának széles skálája van szupravezető kvantumokban, ferroelektromos anyagokban, piezoelektromos anyagokban, termoelektromos anyagokban és más területeken. A nagy vákuum állapot segít csökkenteni a szennyeződések hatását, és biztosítja, hogy a porlasztott részecskék ne reagáljanak károsan más gázokkal a leválasztási folyamat során.


A célanyag az anyagok forrása nagyvákuumú magnetron porlasztás.A célanyag anyaga határozza meg a lerakott film összetételét és tulajdonságait. A különböző típusú célanyagok, például fém, ötvözet vagy összetett célanyagok befolyásolják a lerakott film tulajdonságait. A célanyag összetétele, tisztasága, szemcsemérete, tájolása stb nagyvákuumú magnetron porlasztás közvetlenül befolyásolják a film összetételét, szerkezetét és tulajdonságait.A célanyag mágneses tulajdonságai számára nagyvákuumú magnetron porlasztás, mint például a telítési mágnesezés és a kényszerítő erő, befolyásolják a plazma viselkedését és a film mágneses tulajdonságait a porlasztás során. A célfelület tisztasága és érdessége nagyvákuumú magnetron porlasztás befolyásolja a porlasztási sebességet és a film minőségét.


high vacuum magnetron sputtering


A bevonóanyag és a szubsztrátum meghatározása után a folyamatparaméterek kiválasztása nagy hatással lesz a bevonat minőségére és a bevonat növekedési sebességére. A porlasztási teljesítmény befolyásolja a porlasztási sebességet, a film összetételét és szerkezetét. Ha a porlasztási teljesítmény túl nagy, a bevonat célanyagforrása túlmelegedhet, a film belső feszültsége megnőhet, és a film elszakadhat; ha a teljesítmény túl alacsony, a porlasztási sebesség lassú lesz, a film szerkezete laza, a részecskék nagyok és a film minősége rossz.

 

Cégünk mindig ragaszkodik a "customer first, a minőség first" üzleti filozófiájához, kiváló minőségű termékeket és szolgáltatásokat kínál ügyfeleinek, és jó hírnevet szerzett a piacon. A nagyvákuumú magnetron porlasztás A cégünk által gyártott műszer egy újonnan önálló fejlesztésű bevonóberendezés, amellyel egyrétegű vagy többrétegű ferroelektromos fóliák, vezetőképes fóliák, ötvözött fóliák, félvezető fóliák, kerámia fóliák, dielektromos fóliák, optikai fóliák, oxidfilmek, keményfóliák, politetrafluoretilén fóliák előnye nem csak kis méret, hanem széles körben is használható stb. könnyű kezelhetőség. Ideális berendezés anyagfilmek laboratóriumi elkészítéséhez.

Szerezd meg a legújabb árat? A lehető leghamarabb válaszolunk (12 órán belül)
This field is required
This field is required
Required and valid email address
This field is required
This field is required
For a better browsing experience, we recommend that you use Chrome, Firefox, Safari and Edge browsers.