Nagyvákuumú permetező pirolízis bevonó perovskit napelemekhez

a. Háromfázisú ötvezetékes rendszer. Ötvezetékes: 380 VAC (+/-5%), 50 Hz, három feszültség alatt álló vezeték, egy földelő vezeték és egy nulla vezeték. Maximális teljesítmény 8KW, maximális áramerősség 32A.

b. Ezenkívül független héjföldelő vezetékre van szükség.

2. Víz:

Átfolyási sebesség 15-20 liter/perc, 15-25 Celsius-fok, víz bemeneti és kimeneti nyomáskülönbsége 1-2 kg, vízbemeneti nyomás 2~3 kg, a berendezés vízbe- és kimenetének külső átmérője 12mm (javasolt jobb gumi vízcső használata); a berendezés vízbevezetése elé golyóscsap beépítése javasolt, így a víznyomás és a vízhozam könnyen szabályozható.

3. Gáz:

a. Sűrített levegő: száraz, tiszta, vízmentes, olajmentes sűrített levegő, 8 mm-es műanyag légcső, nyomás 5,5-6

kg (0,55-0,6 MPA).

b. Közönséges nitrogén: száraz nitrogén, a berendezés kamrájában a vákuum megtörésére szolgál. 8mm-es műanyag légcső, nyomás 1-2 kg (0,1-0,2MPA).

1. Vákuumspecifikus 304-es rozsdamentes acél kamra, belső elektropolírozás, a vákuumkamra átmérője körülbelül 400 mm széles, 400 mm mély és 450 mm magas, függőleges első és hátsó ajtószerkezettel.

2. A bejárati ajtó sínje importált kettős sín kialakítást alkalmaz, összehangoltabb megjelenéssel és kézi zárással. A hátsó ajtó kézi zsanérszerkezettel rendelkezik, amely könnyen meghúzható és lezárható; a rendszer rozsdamentes acél bélést biztosít több darabból álló szerkezettel a könnyű szétszerelés és felszerelés érdekében. A vákuumkamra belső és külső felülete polírozott. A kamra felszerelési interfészekkel van felszerelve, például világítással és filmvastagság-mérőkkel;

3. A vákuumkamra bal oldala csatlakozik a főszelephez és a molekulaszivattyúhoz, valamint a vákuummérő interfészhez. A tetején egy forgó, vízhűtéses mintaasztal, egy mintatartó terelőlap és egy filmvastagságmérő szonda interfész található; az alsó lemez 2 készlet fém elpárologtató elektródával, 4 készlet szerves forrással és 2 filmvastagságmérő szonda beépítési porttal van felszerelve;

4. Első és hátsó ajtók üveges megfigyelőablakkal: 1 db 4 hüvelyk átmérőjű megfigyelőablak terelőlemezzel a vákuumkamra bejárati ajtaján; lerakódásgátló üveggel felszerelt; A hátsó ajtón lévő 2 kis megfigyelőablak figyeli a forrást és a mintát, amelyek lerakódásgátló üveggel vannak ellátva.

II. Párolgási forrás: fém párologtató forrással és nem fém párologtató forrással is felszerelve

III. Komplett riasztórendszer: vízhiány és feszültségcsökkenés észlelése és védelem, fázissorrend érzékelés és védelem, hőmérséklet érzékelés és védelem, vákuumrendszer érzékelés és védelem. Riasztás a rendellenes állapotok, például vízhiány, túláram, túlfeszültség és a szivattyúk és elektródák áramköri szakadása esetén, és hajtson végre megfelelő védelmi intézkedéseket; komplett logikai program reteszelő védelmi rendszer.

IV. Ellenőrzési módszer:

Panasonic PLC+érintőképernyős kézi automatikus vezérlés; a sebesség és a végső vastagság megadható, a PID beállítás automatikusan szabályozza a párolgási teljesítményt. Szabályozási tartalom: mechanikus szivattyú, molekuláris szivattyú, pneumatikus, elektromágneses szelep, vákuummérő stb.; automatikus porszívózás, automatikus bevonat, automatikus kipufogó stb.;

Teljes reteszvédelem (hardver, szoftver reteszelés), kézi és automatikus üzemmódban a berendezés teljes reteszvédelem alatt áll a személyzet és a berendezések biztonsága érdekében. Ezenkívül a rendszer vízáramlás-érzékelő riasztóberendezéssel is fel van szerelve.

V. Szerkezeti jellemzők: A rendszer univerzális kerekekkel és lábakkal rendelkezik a könnyű mozgathatóság érdekében. (Az ábrán látható módon)

MI. Részletek:

A mechanikus szivattyú elé molekulaszita, a levegőkimenetre pedig védőelemek, például szűrők és redőnyök vannak felszerelve. A gázút úgy van kialakítva, hogy elkerülje a port. A szerves forrás önállóan van beépítve a belsejébe.

A rendszer hosszú távú stabilitásának biztosítása érdekében minden mintafokozat, forrásterelőlap és mintafokozat-forgás mágneses folyadékkal van lezárva.

A relék, sorkapcsok, víz- és gázcsövek csatlakozásai, mágnesszelepek és egyéb apró alkatrészek mind kiváló minőségű eredeti termékek.

1. Vákuumos rendszer:

FF-200/1300 kaliberű Zhongke Keyi zsírkenésű molekuláris szivattyúval, szivattyúzási sebesség: 1300 L/S + Feiyue VRD-16 mechanikus szivattyús vákuumrendszer, 8 hüvelykes pneumatikus csappantyús szelep, vákuummérés: egy alacsony és egy magas vákuummérő automatikus vezérlése, 9 atmoszféra és magas vákuum vezérlés (tartomány 9 atmoszférától magasra). vákuummérés. A vákuumleolvasásokat a PLC-be adják be a folyamatvezérléshez.

Vákuumszelep: Modell: 2 db DN40mm-es csappantyús szelep; 1 szett Zhongke Keyi DN200 pneumatikus főszelep.

Vákuumos tömítés: a levehető statikus tömítés fluorgumi gyűrűvel van lezárva; a ritkán szétszerelt statikus tömítés oxigénmentes rézzel van lezárva.

2. Vákuumhatár:

Jobb, mint 2,0 × 10-5 Pa. Szivárgási arány: Jobb, mint 5×10–8Pa*L/S (nemzeti szabvány). 12 órás leállítás után a vákuum mértéke ≤5 Pa.

3. Szivattyúzási sebesség: Szivattyúzási idő: légköri nyomás ~ 5×10-4Pa kevesebb, mint 20 perc

1. Fiókos szerkezet, maximum 150*150 mm-es mintával, pneumatikus hordozóterelővel.

2. Az aljzat és a párolgási forrás közötti távolság elektromosan állítható, és az elektromos emelési beállítás maximális távolsága 60 mm.

3. A mintaasztal forgatható vízhűtés funkcióval: a mintaasztal forgási sebessége folyamatosan állítható 0 és 30 ford./perc között.

1. A nagyvákuumú elektronsugaras párologtató bevonógép 2 db csónak típusú párologtató forrással van felszerelve. A fémforrás vízhűtéses rézelektródát és párologtató csónakot tartalmaz (maximális hőmérséklet 1500 fok). A nagyvákuumú elektronsugaras párologtató bevonógép 2,4 kW-os párologtató tápegységgel van felszerelve. A párolgási forrás tápegységének két hajtási módja van: állandó áramú és állandó feszültségű, amelyek kapcsolhatók. A párologtató tápegység vezérelhető szoftveresen vagy manuálisan. A párolgási tápegység automatikusan beállíthatja a párolgási sebességet a filmvastagság-mérő pid (zárt hurkú vezérlés) segítségével. Digitális kijelzővel.

2. A nagyvákuumú elektronsugaras elpárologtató bevonógép 4 szerves párologtató sugárforrás kemencével, 4 szerves párologtató tápegységgel, hőmérséklet-kijelző funkcióval rendelkező szerves párologtató forrásokkal van felszerelve, és a szerves sugárforrású kemencék japán vezető hőmérséklet-szabályozókat használnak. 4 tégelykészlettel, fűtési hőmérséklet: 0-700 Celsius fok; állítható szögtartomány: 0-15 fok,

1. Tápellátás: DC 5V (±10%), maximális áramerősség 400mA.

2. Frekvenciafelbontás: ±0,03Hz.

3. Filmvastagság felbontás: 0,0136Å (alumínium).

4. Filmvastagság pontossága: ±0,5%, a folyamat körülményeitől, különösen az érzékelő helyzetétől, az anyagfeszültségtől, a hőmérséklettől és a sűrűségtől függően.

5. Mérési sebesség: 100ms-1s/time, állítható.

6. Mérési tartomány: 500000Å (alumínium).

Hűtő