Folyamatos, többkamrás magnetronos porlasztásos bevonórendszer
1. Az újonnan piacra dobott VTC-600GC-AM magnetronos porlasztásos bevonórendszerünket frekvenciamodulált motor hajtja, ami magas fokú automatizálást biztosít.
2. A műszaki osztályunk által aprólékosan tervezett és ellenőrzött magnetronos porlasztásos bevonatrendszer nagymértékben javítja a berendezések működésének stabilitását és jelentősen fokozza a felhasználói élményt.
3. A magnetronos porlasztásos bevonórendszer szélesebb körű alkalmazási lehetőségekkel rendelkezik a hasonló termékekhez képest, kompakt mérete pedig megkönnyíti a tárolást.
- Shenyang Kejing
- Senjang, Kína
- 10 munkanap
- 50 szett
- információ
A magnetronos porlasztásos bevonórendszer bemutatása:
A VTC-600GC-AM porlasztó bevonógép egy újonnan kifejlesztett, nagy teljesítményű vékonyréteg-előkészítő berendezés, amely egy átviteli kamrából és egy porlasztó bevonókamrából áll. Az aljzattartó a két kamra között oda-vissza mozog, egy frekvenciamodulált motor hajtja, így automatikus szinkron működést ér el; az oda-vissza löket helyzete és a működési sebesség pontosan beállítható. A porlasztó bevonógép mindkét kamrája pozicionáló kalibrációs funkcióval van felszerelve, amely támogatja a gyors nullpont-visszaállítást a folyamat stabilitásának és ismételhetőségének biztosítása érdekében.
A porlasztó bevonógép különféle típusú vékonyrétegek előállítására alkalmas, beleértve: ferroelektromos vékonyrétegeket, vezetőképes vékonyrétegeket, ötvözet vékonyrétegeket, félvezető vékonyrétegeket, kerámia vékonyrétegeket, dielektromos vékonyrétegeket, optikai vékonyrétegeket, oxid vékonyrétegeket, kemény vékonyrétegeket, PTFE vékonyrétegeket stb. A porlasztó bevonógép felszerelhető többcélú szerkezettel, és párosítható RF tápegységgel (nem vezetőképes célokhoz) és DC tápegységgel (vezetőképes célokhoz), hogy megfeleljen a különböző anyagrendszerek porlasztásos bevonási igényeinek, így széles körben alkalmazható.
A hagyományos berendezésekhez képest a VTC-600GC-AM porlasztó bevonógép nemcsak széleskörű alkalmazási lehetőségekkel és erős funkcionális bővíthetőséggel büszkélkedhet, hanem kompakt felépítéssel, kényelmes kezelhetőséggel és kis helyigénygel is rendelkezik. Ideális rendszer kiváló minőségű vékonyréteg-anyagok laboratóriumi előállításához, különösen alkalmas élvonalbeli kutatási területekre, mint például a szilárdtest elektrolitok, OLED-ek és szerves/szervetlen optoelektronikai anyagok.
A VTC-600GC-AM professzionális és hatékony vékonyréteg-előkészítési megoldást kínál a kutatók számára stabil és megbízható teljesítményének, nagyfokú egyenletességű porlasztási hatásának és rugalmas tágítási képességeinek köszönhetően.
A magnetronos porlasztásos bevonógép főbb jellemzői:
• Kétkamrás szerkezet: A magnetronos porlasztó bevonógép egy átviteli kamrából és egy porlasztó kamrából áll, lehetővé téve a gyors mintaátvitelt és a folyamatos bevonást, jelentősen javítva a filmkészítés hatékonyságát.
• Rugalmas, többcélpontos konfiguráció: A magnetronos porlasztásos bevonatoló gép több célpisztollyal is felszerelhető, támogatja mind az RF, mind az DC tápegységeket, és alkalmas vezető és nem vezető célpontok kezelésére. A célpisztollyal ellátott pisztolyok szabadon cserélhetők a folyamatkövetelményeknek megfelelően.
• Széleskörű alkalmazások: A magnetronos porlasztásos bevonógép különféle típusú vékonyrétegeket képes előállítani, beleértve a fémeket, oxidokat, kerámiákat, dielektrikumokat és optikai filmeket, kielégítve több terület kutatási igényeit.
• Kompakt méret és egyszerű kezelés: A magnetronos porlasztásos bevonatoló gép kis helyigényű és ésszerű elrendezésű, így kényelmes laboratóriumi használatra.
• Moduláris kialakítás: Az átviteli kamra, a vákuumkamra, a szivattyúegység és a tápegység mind egymástól függetlenül konfigurálható, ami megkönnyíti a bővítést és a karbantartást.
• Opcionális tápegység-konfiguráció: A magnetronos porlasztásos bevonatoló gép támogatja több célpisztoly egyetlen tápegységről történő vezérlését, vagy több tápegység független vezérlését, megfelelve a különböző film-előkészítési folyamatok követelményeinek.
A magnetronos porlasztásos bevonógép műszaki paraméterei:
| Termék neve | VTC-600GC-AM folyamatos, többkamrás magnetronos porlasztásos bevonórendszer |
| Termékmodell | VTC-600GC-AM |
| Fő paraméterek | 1. Berendezés felépítése: Asztali, elölről nyíló kialakítás, hátulra szerelt porszívórendszer-elrendezés. 2. Végső vákuum: 6,0 × 10⁻⁵ Pa. 3. Szivárgási sebesség: ≤ 0,5 Pa / 1 óra. 4. Szivattyúzás hatékonysága: Körülbelül 5 perc alatt lehet légköri nyomásról 5,0 × 10⁻³ Pa nyomásra szivattyúzni. 5. Vákuumszivattyú szerelvény: Mechanikus szivattyú + molekuláris szivattyú kombinációja. 6. Minta színpad paraméterei: · Méretek: φ140 mm; · Hőmérséklettartomány: Szobahőmérséklet ~ 500 ℃ (kérésre növelhető); · Hőmérséklet-szabályozási pontosság: ±1 ℃; · Forgási sebesség: Állítható 5–20 ford/perc; · Opcionális előfeszítő modul a filmminőség javítására. 7. Bemeneti rendszer: Kétcsatornás tömegárammérő (Ar / N₂). 8. Céltárgy beépítési szöge: 34°-os szög a céltárgy és a minta tárgyasztalának középtengelye között. 9. Célpontok száma: Standard konfiguráció: 3 célpont, 120°-os távolságra egymástól (további célpontok testreszabhatók). 10. Célhűtési módszer: Vízhűtés. 11. Célanyag méretei: φ2″, vastagság 0,1–5 mm (a vastagság a célanyag típusától függően változik). |
| Megfelelőség | CE, UL vagy CSA minősítés felár ellenében elérhető. |
A magnetronos porlasztásos bevonórendszer főbb működési pontjai:
1. Alapfelület kezelése: Bevonás előtt az alapfelületet megfelelő felületkezelésre van szükség az egyenletes tapadás és a jó tartósság biztosítása érdekében. A felületkezelési módszerek közé tartozhat a tisztítás, fertőtlenítés, polírozás és maratás.
2. Bevonat kiválasztása: Bevonat kiválasztásakor figyelembe kell venni annak fizikai-kémiai tulajdonságait, oldhatóságát, viszkozitását és szilárdanyag-tartalmát, és az anyagkövetelmények alapján kell megfelelő bevonatot választani.
3. Bevonatvastagság szabályozása: A bevonat vastagsága az egyik fontos tényező, amely befolyásolja a bevonat teljesítményét. A bevonat vastagságát a bevonási folyamat során szabályozni kell, jellemzően a huzalrúd vagy a kaparólapát kaparási sebességének, a bevonógép filmvastagságának és a bevonat viszkozitásának szabályozásával.
4. Bevonat egyenletességének szabályozása: A bevonat egyenletessége szintén jelentős hatással van a bevonat teljesítményére. A bevonási folyamat során fenn kell tartani a bevonat egyenletes eloszlását, és biztosítani kell, hogy a bevonat felülete mentes legyen a látható hibáktól és buborékoktól.
5. Bevonatoló gép paraméterbeállításai: A bevonatoló gép paraméterbeállításai is kulcsfontosságúak. A bevonatoló gép hőmérsékletét, sebességét, vákuumszintjét és egyéb paramétereit a különböző bevonatoknak és aljzattípusoknak megfelelően kell beállítani a bevonat minőségének és teljesítményének biztosítása érdekében.
6. Biztonságos üzemeltetés: A bevonatoló gép kezelésekor biztonsági óvintézkedéseket kell tenni, különösen mivel egyes anyagok mérgezőek. Védőszemüveg, kesztyű és légzésvédő viselése ajánlott a személyzet és a környezet károsodásának elkerülése érdekében.
Szolgáltatásainkról:
Évek óta foglalkozunk laboratóriumi berendezések kutatásával és tervezésével, kiváló technológiával és gazdag tapasztalattal rendelkezünk. A síkágyas bevonatoló gépek terén több éves K+F tapasztalattal rendelkezünk, berendezéseink pedig jelentős előnyökkel rendelkeznek a pontosság, a stabilitás és a hatékonyság terén.
