A Spin bevonógépek működési elve, jellemzői és alkalmazása
Ragasztóadagoló, más néven ragasztófonó, centrifugáló bevonat, és főként filmbevonó berendezésként használják ostyák fotoreziszt bevonására vagy szol-gél kísérletekben. A centrifugálás alapelve, hogy a különféle ragasztókat nagy sebességgel forgó hordozóra csepegtetjük, és centrifugális erővel egyenletesen felviszik a ragasztóréteget az aljzatra. A film vastagsága összefügg a ragasztó viszkozitásával, a ragasztófolyadék és a hordozó közötti viszkozitási együtthatóval, a forgási sebességgel és a centrifugálási idővel [1]. Általában, ha a fordulatszám 2000 ford./perc felett van, a ragasztó nagy része egyenletesen oszlik el, és az orsó fordulatszámának stabilitása és ismételhetősége a kulcs a filmvastagság egyenletességének és konzisztenciájának meghatározásához.
A spinbevonatokat főként mikroelektromechanikai rendszerek mikrofeldolgozása, biológia, anyagok, félvezetők, lemezgyártás, új energia, vékonyrétegek, optika és felületbevonat, valamint olyan minták bevonása területén használják, amelyek szubsztrátját nem lehet bevonni. mártással vagy filmkaparással bevonva. A minták rögzítésének általában két módja van: vákuumos tokmány és hornyolt mintalap. A minta vákuumtokmányos rögzítéséhez vákuum készülék szükséges, amely alkalmas sima felületű, jó síkságú, deformációmentes aljzatok vákuumszívás közben történő rögzítésére. A barázdált mintalap puha, nagyobb méretű, szabálytalan alakú hordozók rögzítésére szolgál.
A centrifuga bevonógépek modelljei és jellemzői:
A VTC-50A centrifugáló bevonatot egy chipes számítógép vezérli, magas interferencia-ellenállással, és a forgási sebesség nagyon stabil 1000 és 8000 ford./perc között. A bevonatnak két munkafokozata van --- a T1 alacsony sebességű szakaszban a filmfolyadék fokozatosan eloszlik és a ragasztó befecskendezési folyamata befejeződik, míg a T2 nagy sebességű szakaszban a filmfolyadék egyenletesen eloszlik az alapfelületen egyenletes vastagságú filmet képez, és a ragasztó egyenletessé tételének folyamata befejeződik. Az aljzat rögzítéséhez barázdált PP mintalemezt használnak. A sablonon (a centrifugával együtt szállítjuk) különböző alakú és méretű hornyok nyithatók az aljzatok alakjának és méretének megfelelően. Könnyen használható és egyszerűen kezelhető, nem károsítja az aljzatot. A rögzíthető minták maximális mérete 55mm × 55mm.
A VTC-100 vákuumos centrifugáló bevonat alapfelszereltsége 3 különböző méretű vákuumtokmány. A szubsztrátum rögzítése vákuumos tokmány adszorpcióval történik, és a berendezés kétlépcsős programot használ a sebesség szabályozására. Két munkafokozat van a bevonathoz --- T1 alacsony sebességű szakasz a ragasztó befecskendezéséhez és T2 nagy sebességű szakasz a ragasztó szintezéséhez. A fóliakiegyenlítés után a vákuumszivattyú egy ideig tovább működik, amíg a gép teljesen le nem áll, és a filmbevonat teljes folyamata véget nem ér. Fordulatszám-tartomány: 500-8000 ford./perc, az adszorbeálható minták maximális mérete φ100mm.
A VTC-200 Vákuumos centrifugáló bevonógép vákuumtokmány-adszorpciót használ a minták rögzítésére. A berendezés kétfokozatú programot használ a sebesség szabályozására --- T1 alacsony sebességű fokozat a ragasztó befecskendezéséhez és T2 nagy sebességű fokozat a ragasztó szintezéséhez. A fóliakiegyenlítés után a vákuumszivattyú egy ideig tovább működik, amíg a gép teljesen le nem áll, és a filmbevonat teljes folyamata véget nem ér. Fordulatszám-tartomány: 500-8000 ford./perc, az adszorbeálható minták maximális mérete φ200mm.
A VTC-100PA vákuumos centrifugáló bevonógép erős savas és erős lúgos bevonóoldatok bevonófóliáinak készítésére használható. A berendezés alapkivitelben két különböző méretű vákuumtokmányral van felszerelve a minták rögzítésére. A berendezés 12 programkészletet képes tárolni, és minden programkészlet 6 futási szakaszt tartalmaz. A berendezés forgási sebessége a különböző működési szakaszokban eltérő, és lassan a határsebességig emelkedik, ami elősegíti a film egyenletességét a minta felületén, így bevonóanyagokat takarít meg. Fordulatszám-tartomány: 500-10000 ford./perc, az adszorbeálható minták maximális mérete φ100mm. (A felső burkolat fűtő centrifugája testre szabható.)
A VTC-100PA-UV UV spinbevonó kamrája PP-ből készül, amely erős sav és erős lúg oldatokhoz használható. Ennek a gépnek a felső burkolata UV fénysugárzás funkcióval rendelkezik, amely alkalmas UV fényre érzékeny ragasztókhoz. A kamra levegőbevezető nyílásokkal van felszerelve, amelyek segítségével védőgázt lehet bevinni a ragasztókiegyenlítési folyamat során. A mintákat vákuum-adszorpcióval rögzítjük. A speciális központosító szerszámmal felszerelve a minta könnyen elhelyezhető a vákuumtokmány közepén, hogy csökkentse az excentricitás okozta vibrációt és elkerülje a kidobást. Fordulatszám-tartomány: 500-10000 ford./perc, az adszorbeálható minták maximális mérete φ100mm.
A VTC-200P vákuumos centrifugálás PP-ből készül, amely erős savas és erős lúgos bevonóoldatok bevonófilm készítésére használható. A mintát vákuumos tokmány adszorpcióval rögzítik. A berendezés 12 programkészletet képes tárolni, és minden program 6 futási szakaszt tartalmaz. Az egyes fokozatok fordulatszám-növelésének és csökkentési sebességének beállítási tartománya: 100 - 2000 ford/perc, az egyes fokozatok időtartománya: 0 - 60 s. A berendezés forgási sebessége a különböző működési szakaszokban eltérő, és lassan a határsebességig emelkedik, ami elősegíti a film egyenletességét a minta felületén, így bevonóanyagokat takarít meg. A kamra felső fedele opcionálisan felszerelhető fűtőfunkcióval, ami előnyös a nagy viszkozitású filmanyagok bevonási folyamatában. Sebesség tartomány: 500-6000 ford./perc, az adszorbeálható minták maximális mérete φ200mm.
A VTC-200PV vákuumos centrifugálás erős savas és erős lúgos bevonóoldatok bevonófilm készítésére használható. Ez a berendezés ki tudja üríteni a kamráját, így a minta teljesen vákuumállapotban bevonható, amely alkalmas a levegőben könnyen oxidálódó és romló anyagokhoz. A berendezés 12 programcsoportot képes tárolni, minden programcsoport 6 futási szakaszt tartalmaz. Az egyes fokozatok fordulatszám-növelésének és csökkentési sebességének beállítási tartománya: 100 - 2000 ford/perc, az egyes fokozatok időtartománya: 0-60 s. A berendezés forgási sebessége a különböző működési szakaszokban eltérő, és lassan a határsebességig emelkedik, ami elősegíti a film egyenletességét a minta felületén, így bevonóanyagokat takarít meg. Sebesség tartomány: 500-6000 ford./perc, az adszorbeálható minták maximális mérete φ200mm.
A megfelelő centrifugáló bevonógépek az ügyfelek igényei szerint is testreszabhatók.
Referenciák:
[1] Shi Donglu, Zhou Wuzong, Liang Weiyao, főszerkesztő, Applied Research on High Temperature Superconductivity, Shanghai Science and Technology Press, 2008.10., p. 266